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上海首立实业有限公司
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| 参考报价： | 面议 | 型号： | DIGILEM-CPM-Xe |
| 品牌： | 堀场 | 产地： | 日本 |
| 关注度： | 暂无 | 信息完整度： |  |
| 样本： | 典型用户： | 暂无 | |
| 供应商性质 | 一般经销商 | 产地类别 | 进口 |
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实时的干涉测量设备，提供蚀刻/镀膜制程中高精度的膜厚及蚀刻沟深度检测。单色光打在样品表面，由于膜厚和高度变化导致不同的光路长度时，使用干涉测量法。通过循环，系统能在监控区使用实时监测的方法计算蚀刻和镀膜的速度，在规定的膜厚和槽深来进行终点检测。基于这个相对简单的理论，系统不但非常稳定，并且可用于复杂的多层薄膜。
监测透明薄膜的厚度和高度，如GaN,ALGaN,SiO2 和SiN。
适用于等离子体频谱分析。
生产线使用内置软件。
终点检测法的灵活应用。
先进的加工特点。
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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
