400-6699-117转1000
咨询列表
上海首立实业有限公司
您好，欢迎您查看分析测试百科网，请问有什么帮助您的？
诚信认证:
工商注册信息已核实！
扫一扫即可访问手机版展台
| 参考报价： | 面议 | 型号： | LEM-CT-670-G50 |
| 品牌： | 堀场 | 产地： | 日本 |
| 关注度： | 4 | 信息完整度： |  |
| 样本： | 典型用户： | 暂无 |
400-6699-117转1000
概要
实时的干涉测量设备，提供蚀刻/镀膜制程中高精度的膜厚及蚀刻沟深度检测。单色光打在样品表面，由于膜厚和高度变化导致不同的光路长度时，使用干涉测量法。通过循环，系统能在监控区使用实时监测的方法计算蚀刻和镀膜的速度，在规定的膜厚和槽深来进行终点检测。基于这个相对简单的理论，系统不但非常稳定，并且可用于复杂的多层薄膜。
特征
两种类型的激光器，可兼容大范围的薄膜，包括SiN, SiO2, GaAs, InP, AlGaAs, and GaN.
生产线使用内置软件。
终点检测法的灵活应用。
先进的加工特点。
堀场实时膜厚检测仪 LEM-CT-670-G50信息由上海首立实业有限公司为您提供，如您想了解更多关于堀场实时膜厚检测仪 LEM-CT-670-G50报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
