堀场残余气体分析仪 MICROPOLE系统

微型残余气体分析仪是一种较小的质量能谱仪分析系统。通过享有的小型化设计将四电极质量过滤器进行排列，从而获得了紧凑尺寸。这种排列方式可以提供相近或者更好的灵敏度。

特征

• 较为紧凑的安装尺寸和较轻的重量

与传统的残余气体分析仪相比，尺寸较小，这使它容易整合到您的系统之中。

• 高性能

在只占传统电极一小部分的体积里，微型化的九电极排列提供了良好的灵敏度。

• 高压力条件下可使用

可以在高于0.9Pa（7mTorr, 9 x 10-3mbar）的压力条件下使用，在许多需要昂贵真空泵的应用当中，可以简化或者省略泵的使用。

• 已经校准过的可替换传感器接头

此传感器接头在出货之前已经进行过预调谐和校准。允许客户自己在现场进行传感器的更换。

• 网络传感器

升级到八电极后，可以通过一台使用RS485接口的电脑进行监测。此系统也可以通过以太网进行远程监测。

• 用户友好软件

微电极扫描软件允许用户用各种不同的方式监测气体的部分压力，如趋势曲线图，相似性曲线图，泄露模式，条形统计图，3D等

• 监测控制

可选择性的监测控制器可以安装在反应室的光谱发生器上，使用户无需电脑可以监测真空反应室。

■测量原理

残余气体分析仪是由一个离子源，一个质量分光仪和一个监测单元组成。当残余气体与从高温金属丝释放的热电子碰撞后，它将被离子化。并且，这些因此产生的离子会加速会合到质量能谱仪上。在质量能谱仪上内，直流和交流电压被应用到四个圆柱形的电极上（方形排列），从而让离子因质量的不同而被分离开。这些被分开的离子通过法拉第杯作为直流电被发现。这种离子电流是与残余气体的质量成比例的。　　

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途