SolarusTM（型号950）高级等离子清洗系统

SOLARUS - 全新先进等离子体清洗系统，去除碳氢化合物对TEM和SEM样本载台或样品的污染。Solarus是新一代等离子系统，其改造的新概念和zei新技术令它具有更佳的性能，操作简便和良好的清洗效果。与市面上其他任何等离子清洗体系统相比，Solarus能提供zei有效的清洗效果。

SOLARUS具有明确的区别特点：

1. 专用化学气体H2/O2（专利申请）。 这一独特优势，化学清洗时能减少溅射损伤所有样品，甚至可以清洗多孔碳膜。与传统Ar/O2气体清洗相比，使用H2/O2气体清洗还可以进一步延长样品的冷冻状态保持时间。

2. 交互式触摸屏提供预先编程的气体配比，优化工艺参数，具有更好的一致性和可重复性。

3. 实时RF自动匹配和可变RF电源(10W-65W) 能确保在任何清洗条件下，提供zei适宜的等离子体功率，损坏zei小。

4. 质量流量控制器(MFC)提供准确的气体控制量，使等离子体清洗机性能长期稳定，具有H2, O2和 Ar三个独立的组分通道。

5. 通过前面两个插口多功能腔体能接受两个透射电镜样品杆，同时打开顶部的盖子能装入多种扫描样品。

6. 涡轮泵系统不停运行使整体循环速度提高几倍。 泵 - 50秒 VS竞争对手的3分钟；通风 - 5秒VS竞争对手的6分钟。

7. 多语言系统操作指令包括英语、德语、法语、中文、韩语、日语。

Solarus独特的设计提供更好的性能和更高的生产量：

1. 改进温和清洁，没有溅射；
2. 优异的重复性；
3. 清洁参数适应性更多，可适用于更多种类的材料；
4. 更快的清洗速率使得其有更高的清洗数量。

等离子体清洗机的优点：
- 增强成像能力(低电压)
- 化学微量分析时提高精度
- EDX和EBSD 有更长时间的读取和获取次数

STEM和EELS分析必须使用较小尺寸探针

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途