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TESCAN 提供的解决方案是将飞行时间二次离子质谱与 FIB-SEM 系统集成。这种组合能够为用户提供固体材料的 3D 化学表征和分子信息,高离子质量分辨率和高空间分辨率成像等,并可以进行原位 FIB 深度分析。
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