PLD 脉冲激光沉积系统检漏专用氦质谱检漏仪-伯东企业（上海）有限公司

参考报价：	面议	型号：	ASM 340,ASM 310
品牌：	普发真空	产地：	法国
关注度：	7	信息完整度：
样本：		典型用户：	暂无
供应商性质	一般经销商	产地类别	进口

仪器种类	氦质谱检漏仪(进口)

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氦质谱检漏仪脉冲激光沉积系统 PLD 检漏
脉冲激光沉积系统 PLD
脉冲激光沉积系统 Pulsed laser deposition 是制备高通量多晶薄膜, 外延薄膜和多层异质结构和超晶格结构的物理气相沉积设备, 通常需要保证本底真空度达到 10-8mbar, 同时高真空环境对系统配置的 RHEED 及温控系统等关键设备的寿命也至关重要.

脉冲激光沉积系统 PLD 需要检漏原因
PLD 系统需要高真空环境, 腔室是否有泄露, 是否有内部材料放气等因素对实现高真空及超高真空很关键. 因此需要对整个系统进行泄漏检测. 氦质谱检漏仪利用氦气作为示踪气体可精确定位, 定量漏点. 因此广泛应用于 PLD 设备检漏.

脉冲激光沉积系统 PLD 检漏客户案例: 上海伯东某客户 PLD 设备用来制备各种材料, 为了保证产品质量, 采购氦质谱检漏仪 ASM 340搭配使用.

生长多层膜（TiN/ALN）结构, 各层膜厚度可调	高通量制备具有不同材料成分的100种材料	PLD 制备的 Ag 的纳米多孔材料

脉冲激光沉积系统 PLD 检漏方法
采用真空模式检漏, 通过波纹管连接需要检漏的腔体, 设定好需要的漏率值
在怀疑有漏的地方喷氦气（一般需要检漏的部位是焊缝或连接处）,如果有漏,检漏仪会出现声光报警同时在屏幕上显示当前漏率值.
氦质谱检漏仪脉冲激光沉积系统 PLD 检漏
上海伯东推荐 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM 340 三种类型可选

型号	ASM 340 WET	ASM 340 D	ASM 340 I
对氦气的最小检测漏率, 真空模式	5E-13 Pa m3/s	5E-13 Pa m3/s	5E-13 Pa m3/s
检测模式	真空模式和吸枪模式	真空模式和吸枪模式	真空模式和吸枪模式
检测气体	4He, 3He, H2	4He, 3He, H2	4He, 3He, H2
对氦气的抽气速度 l/s	2.5	2.5	2.5
进气口最大压力 hPa	25	25	5
前级泵抽速 m3/h	油泵 15	隔膜泵 3.4	不含前级泵
重量 kg	56	45	32

结合了 Pfeiffer 与 Adixen 两家检漏仪的技术优势, 德国 Pfeiffer 推出全系列新型号氦质谱检漏仪, 从便携式检漏仪到工作台式检漏仪满足各种不同的应用. 氦质谱检漏仪替代传统泡沫检漏和压差检漏, 利用氦气作为示踪气体可精确定位, 定量漏点. 氦质谱检漏仪满足单机检漏, 也可集成在检漏系统或 PLC. 推荐氦质谱检漏仪应用 >>

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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PLD 脉冲激光沉积系统检漏专用氦质谱检漏仪

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