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上海伯东美国 KRI 射频离子源 RFICP 100 紧凑设计,适用于离子溅镀和离子蚀刻.小尺寸设计但是可以输出 >400 mA 离子流.KRi 射频离子源 RFICP 100 源直径19cm
上海伯东美国 KRI 射频离子源 RFICP 220 高能量栅极离子源,RFICP 220 离子能量范围100至1200ev,离子电流可以超过 800 mA.KRi 射频离子源 RFICP 220 适用于离子溅镀离子沉积和离子蚀刻.满足200 mm (8英寸) 晶圆刻蚀
上海伯东美国 KRi 大口径射频离子源 RFICP 380,3层栅极设计,离子源栅极口径 38cm,提供离子动能 100-1200eV 宽束离子束,最大离子束流 > 1000mA,射频离子源 RFICP 380 满足 300 mm (12英寸)晶圆应用.