400-6699-117转1000
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参考报价: | 面议 | 型号: | D07-19B |
品牌: | sevenstar | 产地: | 北京 |
关注度: | 111 | 信息完整度: | |
样本: | 典型用户: | 暂无 |
400-6699-117转1000
仪器简介:
用 途:
质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
标 准:
气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为:
标准温度………………0℃(273.15K)
标准压强………………101325Pa
输入和输出:
输入电源………………+15V,50mA;-15V,200mA
输入设定电压…………0~+5.00V
输出电压检测…………0~+5.00V
技术参数:
满量程流量范围(N2) |
5SCCM~30SLM |
|
控制范围 |
2~100%F.S. |
|
阀类型(及阀初始状态) |
电磁调节阀(常闭) |
|
准确度 |
≤10SLM |
±1%F.S. |
>10SLM |
±2%F.S. |
|
线性 |
≤10SLM |
±0.5~1%F.S. |
>10SLM |
±2%F.S. |
|
重复精度 |
±0.2%F.S. |
|
响应时间 |
≤4sec |
|
工作温度范围 |
5~ |
|
工作压差 |
≤10SLM |
0.1~0.5MPa |
>10SLM |
0.1~0.3MPa |
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耐压 |
3MPa |
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漏气率 |
1×10-9SCCSHe |
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密封材料 |
氟橡胶、聚四氟乙烯、氯丁橡胶 |
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接头选择 |
VCR |
1/4”或φ4hose、φ6hose |
Swagelok |
1/8”、1/ |
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电插头形式 |
DB15 pin(Male) |
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抗电磁干扰 |
CE |
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重量 |
0.95Kg |
主要特点:
★高精度,快响应型
★橡胶密封、模拟电路的MFC
★采用DB15型电插头,国际标准机械接头
★国际兼容
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