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北京帅恩科技有限责任公司
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| 参考报价： | 面议 | 型号： | EXT75DX |
| 品牌： | 爱德华/EDWARDS | 产地： | 英国 |
| 关注度： | 12 | 信息完整度： |  |
| 样本： | 典型用户： | 暂无 | |
| 供应商性质 | 一般经销商 | 产地类别 | 进口 |
| 仪器种类 | 分子泵 | 价格范围 | 3万-5万 |
| 是否有油 | 无油泵 |
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概述
EXT75DX分子泵是一款磁悬浮轴承与陶瓷轴承结合使用的复合分子泵，采用成熟的轴承技术，上轴承为永久性磁悬浮轴承，下轴承为油润滑陶瓷轴承，并采用Holweck拖曳分级技术，可以DC 24V直接驱动，或使用TAG和 TIC控制器，可以并行和串行通信。入口法兰有DN40NW、ISO63、DN63CF或 ISO100可选。
基本的分子泵系统通常由EXT75DX泵、TAG或TIC控制器、空冷或水冷附件以及合适的前级泵组成。
性能特点
智能控制，功耗低，减少运行成本
与Edwards TIC涡轮与仪表控制器兼容，可以添加1~3真空规而无需额外真空控制器，可以连接冷却风扇和自动放气阀
并行或串行接口：并行模式允许使用传统控制模式；串行模式提供RS232接口，可以全面控制分子泵状态，并连续监控放气阀设置、运行转速、待机转速、可编程功率设置、功耗、泵/控制器温度
入口配有筛网
上轴承为永久性磁悬浮轴承：无需清洁、振动小、磨损低
配有手动放气阀（可选配电磁阀，用于全自动放气）
Holweck拖曳分级技术，实现高吞吐量和高前级压力差
带有吹扫口，提供制程气体稀释，以保护电机和下轴承
技术指标
入口法兰 | DN63ISO-K、DN63CF、DN40NW、DN100ISO-K | |||
出口法兰 | KF16 | |||
抽 速 | ISO63/63CF | DN40NW | ISO100 | |
N2 | 61l/s | 42l/s | 66l/s | |
He | 57l/s | 49l/s | 59l/s | |
H2 | 53l/s | 48l/s | 54l/s | |
压 缩 比 | N2 | >1×1011 | ||
He | 1×106 | |||
H2 | 5×104 | |||
极限 真空 | RV泵，ISO/CF | <5×10-9/<5×10-10 mbar | ||
隔膜泵，ISO/CF | <5×10-8/<5×10-9 mbar | |||
推荐前级泵* | RV5/nXDS6i | |||
放气口/吹扫口 | 1/8英寸BSP母螺纹 | |||
最大连续入口压力（轻质气体）? | ||||
水冷（水温15°C，环境温度40°C） | 2×10-2 mbar | |||
空冷（环境温度35°C） | 1×10-2 mbar | |||
泵转速 | ||||
标称转速 | 90000rpm | |||
待机转速 | 49500~90000rpm可调 （缺省63000 rpm） | |||
功率范围 | 50~120W可调 （缺省80W） | |||
90%转速启动时间 | 110s? | |||
模拟输出 | 泵转速、功耗、泵温度、控制温度 | |||
冷却方式# | 空冷/水冷 | |||
空冷环境温度 | 5~35°C | |||
最小水冷流速 （15°C的水） | 15l/ h | |||
水温范围 | 10~20°C | |||
入口法兰最高温度 | 100°C | |||
工作姿态 | 垂直、水平 | |||
噪声（1m处） | <50dB(A) | |||
最大耐受磁场 | 5mT | |||
推荐控制器 | TIC100涡轮仪表控制器 | |||
稳态功耗 | 10W |
* 根据应用可使用较小的前级泵，如使用隔膜泵要求极限真空小于 5 mbar，如XDD1。
? 如大于该入口压力，转速会降至标称转速以下。
? 功率为80 W。
# 空冷和水冷却附件须单独订购。
订货信息
货号 | 描述 |
B72241000 | EXT75DX分子泵：DN63ISO-K入口法兰 |
B72242000 | EXT75DX分子泵：DN63CF入口法兰 |
B72243000 | EXT75DX分子泵：DN40NW入口法兰 |
B72245000 | EXT75DX分子泵：DN100 ISOK入口法兰 |
B72246000 | EXT75DX分子泵：DN100 ISOK入口法兰（DN25NW前级泵接口） |
B72235000 | EXT75iDX分子泵：DN40NW入口法兰 |
B72237000 | EXT75iDX分子泵：DN63ISO-K入口法兰 |
B72238000 | EXT75iDX分子泵：DN63ISO-K入口法兰（DN25NW前级泵接口） |
Edwards EXT75DX涡轮分子泵信息由北京帅恩科技有限责任公司为您提供，如您想了解更多关于Edwards EXT75DX涡轮分子泵报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
