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JSM-7800F超高分辨热场发射扫描电镜

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参考报价: 面议 型号: JSM-7800F
品牌: 日本电子 产地: 日本
关注度: 3496 信息完整度:
样本: 暂无样本 典型用户: 暂无
产地属性亚洲仪器种类场发射
二次电子图象分辨率0.8 nm (15 kV)、1.2 nm (1 kV) 分析模式:3.0 nm (15kV、5nA、WD10mm)放大倍数× 25 ~ × 1,000,000(120mm x 90mm photograph size); ×30~×3,000,000(1280 x 960 pixels display)
样品台全对中测角样品台、5轴马达驱动 X:70mm Y:50mm Z:2mm~25mm 倾斜-5~+70° 旋转360°加速电压0.01kV ~ 30kV

主要特点:
 超高的分辨率0.8 nm (15 kV) and 1.2 nm (1 kV).
 高速精确分析能力
 稳定的大束流
 从磁性样品到非导体样品使用范围广泛
 
 技术指标:
 分辨率:0.8nm (15kV)1.2nm (1kV)
 放大倍数:25 to 1,000,000x
 加速电压:0.01 to 30kV
 束流强度:200 nA(15kV)
 电子枪:浸没式热场发射电子枪
 物镜设计:超级混合式物镜
 样品台:5轴马达驱动
       

JSM-7800F 热场发射扫描电子显微镜

新一代扫描电镜JSM-7800F配备了新开发的超级混合式物镜(SHL),在保持极高的可操作性的同时,实现了低加速电压下的高分辨率,电子源采用浸没式(in-lens)肖特基场发射电子枪,因而能以大束流电流进行稳定的分析。


产品特点:

新一代场发射扫描电镜JSM-7800F配备了新开发的超级混合式物镜(SHL),在保持极高的可操作性的同时,实现了低加速电压下的高分辨率,电子源采用浸没式(in-lens)肖特基场发射电子枪,因而能以大束流电流进行稳定的分析。

通过超级混合式物镜(SHL)进行高分辨率观察

JSM-7800F的物镜采用的是静电场和静磁场叠加的超级混合式物镜(SHL),由于减少了色差及球差,极大地提高了低加速电压下的分辨率。此外,SHL不会对样品形成磁场影响,因此观察磁性材料的样品和进行EBSD测试可以不受制约。

低加速电压下的能量选择

能量过滤器位于高位检测器 (UED)的正下方,可以选择能量。即使在低加速电压下,也能够精确地选择二次电子和背散射电子,因而可以通过低加速电压下的背散射电子像观察样品的浅表面。

通过Gentle Beam (即柔和光束GB模式)观察样品的浅表面

给样品加以偏压(GB),对入射电子有减速、对释放出的电子有加速作用。即使入射电子束到达样品时的能量很低,也可以获得高分辨率、高信噪比的图像。如果利用能施加更高偏压的GB模式,用几十电子伏能量的入射电子束,就可以进行更高分辨率的观察。

通过多个检测器获取样品的所有信息

JSM-7800F配有四种检测器:高位检测器(UED) 、高位二次电子检测器(USD)、背散射电子检测器(BED)和低位检测器(LED)。UED过滤器的电压不同,二次电子和背散射电子的数量会改变,因此可以选择电子的能量,USD检测被过滤器弹回的低能量电子,BED通过检测低角度的背散射电子,能清楚地观察通道衬度。利用LED的照明效果能够获得含有形貌信息的、富有立体感的图像。

应用实例

低加速电压下的观察

利用JSM-7800F的GB模式,到达样品的能量从10 eV开始就可以观察。下面将到达样品的能量设定为80 eV进行实例观察:一个碳原子厚度的石墨薄片的表面

002.jpg

Specimen: Graphene

样品: 石墨烯 到达能量80eV


能量选择

UED和USD能同时获取背散射电子像(左图)和二次电子像(右图),因此可以精确地解释图像。二次电子像主要反映形貌信息,金颗粒和TiO2的衬度没有明显不同,而背散射电子像中原子序数高的金颗粒则显得明亮。


背散射电子像 BE image

003.jpg

二次电子像 SE image

004.jpg

样品: 金负载型TiO2催化剂(2kV)g


利用GBSH观察

利用GBSH对样品施加高偏压,像差将会减小,图像的高分辨率会更高。能清楚地观察到介孔二氧化硅里中的微孔(下图)。

005.jpg

样品:介孔二氧化硅 到达样品的能量: 1keV


观察磁性材料样品

SHL物镜能抑制磁场的泄漏,因此即便是磁性材料的样品,也可以用极低的入射电子能量很容易地进行高分辨率观察 。

010.jpg

样品: 磁铁矿纳米颗粒 到达样品的能量: 1keV


磁性样品的EBSD测试

SHL没有磁场泄漏的影响,也很适合于EBSD。象下图所示那样,通过反极图能准确地确定晶体的取向。

006.jpg                         

分析点数: 118585

尺寸: Xzei大: 80.00微米, Y zei大: 79.89微米,步长: 0.25微米, 相: Nd2Fe14B 


007.jpg

                         

从样品中获得的EBSD花样实例( 在任意点上获取)

 ND                    TD                    RD

008.png

009.jpg


产品规格:

分辨率0.8 nm (15 kV)、1.2 nm (1 kV)
分析模式:3.0 nm (15kV、5nA、WD10mm)
倍率× 25 ~ × 1,000,000(120mm x 90mm photograph size); ×30~×3,000,000(1280 x 960 pixels display);
加速电压0.01kV ~ 30kV
束流

几pA~200nA

自动光阑角zei佳控制透镜内置
检测器高位检测器(UED)
低位检测器(LED)
能量过滤器UED过滤器电压可变功能内置
Gentle Beam模式内置
样品台全对中测角样品台、5轴马达驱动
X:70mm  Y:50mm  Z:2mm~25mm 倾斜-5~+70° 旋转360°
  • 主要选配件

  • 能谱仪(EDS)

  • 波谱仪(WDS)

  • 电子背散射衍射系统(EBSD)

  • 阴极荧光系统(CLD)


JSM-7800F超高分辨热场发射扫描电镜信息由日本电子株式会社(JEOL)为您提供,如您想了解更多关于JSM-7800F超高分辨热场发射扫描电镜报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。

注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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