SXES软X射线分析谱仪

• 软X射线分析谱仪

• 软X射线分析谱仪(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer)通过组合新开发的衍射光栅和高灵敏度Ｘ射线CCD相机，实现了极高的能量分辨率。 和EDS一样可以并行检测，并且能以0.3eV(费米边处Al-L基准)的极高能量分辨率进行分析，超过了WDS的能量分辨率。

产品特点：

• 软X射线分析谱仪(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer)通过组合新开发的衍射光栅和高灵敏度Ｘ射线CCD相机，实现了极高的能量分辨率。
  和EDS一样可以并行检测，并且能以0.3eV(费米边处Al-L基准)的极高能量分辨率进行分析，超过了WDS的能量分辨率。

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• 系统简介
  

• zei新开发设计的分光系统，不需移动衍射光栅或检测器（CCD）就能同时获取不同能量的谱图。而且由于能量分辨率很高，还可以采集状态分析分佈图

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• SXES、WDS、EDS的比较

• 各种分光方法中氮化钛样品的谱图

• 即使在WDS分析中氮化钛的谱峰也發生重叠，需要采取去卷积的数学方法处理。如下图所示，SXES具有很高的能量分辨率。

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• 比较表

特征	SXES	EPMA(WDS)	EDS
分辨率	0.3 eV (费米边处 Al-L)	8 eV (FWHM@Fe-K）	120-130 eV (FWHM@Mn-K）
化学结合状态分析	可以	可以(主要是轻元素)	不可以
并行检测	可以	不可以 (但分光谱仪台数范围即可)	可以
分光晶体和检测器	衍射光栅＋CCD	分光晶体＋正比计数管	SDD
检测器冷却	珀尔帖冷却	不需要	珀尔帖冷却
检测限(以B作為參考值)	20ppm	100ppm	5000ppm

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• 锂离子二次电池（LIB）分析实例

• 能观察到LIB的充电量

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• 充满电后Li-K样品的谱图

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  说明: 由于理论上的原因，氧化锂的检测很困难
   

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• 轻元素的测试实例

• SXES测试碳素化合物的实例

• 可以测试金刚石、石墨、聚合物的不同。

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• 各种氮素化合物的测试实例

• 氮素也可以根据波形分析化学结合状态。 硝酸盐和氮化物的波形完全不同，还能观察到易受电子束损伤的铵盐的独特波形。

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产品规格：

• 能量分辨率0.3eV（Al-L 光谱图73eV处测试）
  

• 获取能量范围：衍射光栅JS50XL的能区50-170eV

• 获取能量范围：衍射光栅JS50XL的能区70-210eV

• 分光谱仪艙安装位置：

• EPMA的WDS接口：NO.2接口（正面右侧）

• FE-SEM的WDS接口（正面左后侧）

• 分光谱仪尺寸　W 168mm×D 348mm ×H 683mm

• * 从接口包括CCD的距离

• 分光谱仪重量　25kg

• 适用机型

• EPMA ： JXA-8530F, JXA-8230, JXA-8500F, JXA-8200

• SEM ： JSM-7800F, JSM-7800 Prime, JSM-7100F

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途