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电子束刻蚀系统
JEBG

JEBG 系列大功率电子枪・电源

JEBG 系列大功率电子枪・电源JEBG系列大功率电子枪是用来在真空中蒸发或熔解金属及氧化物的大功率电子束发生源,能在宽幅塑料及大面积玻璃基板上持续、高速率地镀......
BS-EBM系列多用途电子束熔炼炉

BS-EBM系列多用途电子束熔炼炉

BS-EBM系列多用途电子束熔炼炉以电子束为热源使用各种熔解用坩埚,对高融点活性金属进行熔解/精炼、制备铸锭的电子束熔炼炉。 适合研究开发及少量生产、省空间设计......
TP-99010FDR

TP-99010FDR 粉末供应装置(材料生成)

TP-99010FDR 粉末供应装置用气体通过管道定量输送粉末的送粉器。 该台式送粉器能稳定地供给亚微米~100μm左右的微细颗粒。 通过载气输送微细粉末。 还......
TP-99010FDR

TP-99010FDR 粉末供应装置(成膜)

TP-99010FDR 粉末供应装置用气体通过管道定量输送粉末的送粉器。产品特点:用气体通过管道定量输送粉末的送粉器。该台式送粉器能稳定地供给亚微米~100μm......
TP

TP 系列 高频感应等离子体发生器

TP 系列 高频感应等离子体发生器通过高频感应加热产生大约1万度的热等离子体,经过物理/化学反应过程,能合成纳米颗粒及厚膜(镀膜)。产品特点:通过高频感应加热产......
BS-04

BS-04 系列 旋转式传感器

BS-04 系列 旋转式传感器晶振膜厚控制仪的传感器,可装载6个或12个晶振片 。The BS-04 series rotary sensor is used ......
RF-340

RF-340 系列匹配网络自动整合装置

RF-340 系列匹配网络自动整合装置和产生等离子体的13.56MHz高频电源组合,与负载进行匹配的自动调整装置 (匹配箱 + 控制器) 。Features特点......
RF-120系列高频电源

RF-120系列高频电源

RF-120系列高频电源是溅射、刻蚀、CVD、离子镀等薄膜制备/加工使用的、用于生成等离子体的13.56MHz高频电源(RF电源)。特性:A high-freq......
BS-80020CPPS等离子体源

BS-80020CPPS等离子体源

BS-80020CPPS等离子体源BS-80020CPPS是用于辅助低温(100℃以下等)下塑料基板和胶片成膜的等离子体源。The plasma source ......
BS-80011BPG产生高密度内置型等离子源

BS-80011BPG产生高密度内置型等离子源

BS-80011BPG产生高密度等离子体的内置型等离子体枪安装在真空室内产生高密度等离子体的等离子体源。利用和真空蒸镀结合的等离子体辅助沉积技术(离子镀),能提......
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