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X-BEAM X射线管
实现微量元素的面分布,且能够达到10um的空间分辨率. 且对样品没有损伤,对于容易受到电子束损伤的样品,可以采用低电压扫描样品得到图像的同时,利用X射线源来激发低电压无法激发的X射线信号。
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