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安捷伦科技（中国）有限公司
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蔡司晶圆检测设备
蔡司 Sigma 360 8英寸晶圆全观察解决方案 蔡司 Sigma 360
Sigma 360 8英寸晶圆全观察解决方案
蔡司场发射扫描电子显微镜 Sigma 360 紧贴国内市场需求，凝结本土创新能力，成功开发 8 英寸晶圆全尺寸观察解决方案。无需大体积舱室，无碰撞风险，凭借高分辨成像能力与优异低电压表现，可精准测量关键CD尺寸，排查全制程各类微观缺陷，全方位满足半导体研究开发和生产制造的严苛要求，是半导体检测领域可靠伙伴。
[ 产品简介 ]
蔡司场发射扫描电子显微镜 Sigma 360 紧贴国内市场需求，凝结本土创新能力，成功开发 8 英寸晶圆全尺寸观察解决方案。无需大体积舱室，无碰撞风险，凭借高分辨成像能力与优异低电压表现，可精准测量关键CD尺寸，排查全制程各类微观缺陷，全方位满足半导体研究开发和生产制造的严苛要求，是半导体检测领域可靠伙伴。
[ 产品特点 ]
ü “全” 视野：可观察直径由原来的155毫米（6英寸范围）扩展至204毫米（8英寸全范围）
ü “高”分辨：搭载Gemini镜筒，助力关键尺寸测量，提供可靠数据支撑
ü “易”操作：极坐标软件控样台，鼠标搞定复杂操作，无碰撞风险，高效安全
[ 应用领域 ]
ü 半导体：PMIC、IGBT、MEMS、汽车电子、CMOS 图像传感器等
[ 应用案例 ]
8英寸Wafer全视野光镜导航图，可提供全尺寸电镜导航
晶圆上的光刻胶图形结构。俯视可测量宽度间距等，倾斜可观察并测量侧壁信息
简洁直观的软件界面
高分辨观察孔洞图形结构光刻胶
低电压观察倾斜后的光刻胶侧壁细节
蔡司 Sigma 360 8英寸晶圆全观察解决方案 由卡尔蔡司(上海)管理有限公司 为您提供，如您想了解更多关于蔡司 Sigma 360 8英寸晶圆全观察解决方案 报价、参数等信息 ，欢迎来电或留言咨询。
注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途。
