In-situ series 在线椭偏仪

在镀膜或刻蚀的过程中，实时监测样品膜的膜厚以及光学常数（n,k）变化。

技术参数：

·可实现快速、实时在线监测样品膜层变化

主要特点：

将激发和探测头引入生产设备，可实现：

· 动态模式:实时监测膜厚变化

· 光谱模式：监测薄膜的界面和组分

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途