应用：

-光阻(PR) 或薄膜涂敷
-3D结构Pattern的薄膜涂敷
-(V型槽, U型槽, 空穴, 通路, 其他3D结构, etc.)
-电镀制模
-牺牲层涂敷
-电pattern连接

样品尺寸: Up to 12"
喷涂方式 : 下部流出
喷雾头 : 喷雾器, 过滤器, 超声波喷嘴(100kHz)
喷嘴移动 : Max. 350mm(X-轴) / 20mm(Z-轴)
样品喷涂速度: Max. 2,000rpm 
涡流气体 : 热N2 (Max. 85度 加热) 
卡紧方式 : 真空型
光阻流速 : ~ 100 毫升/秒
注射器容量 : 100mL 
过程控制 : 自动 (PC)

自动化装置，控制精准，操作方便，是薄膜，材料，半导体等行业的首选 。

喷雾式光阻涂布系统信息由南京伯奢咏怀电子科技有限公司为您提供，如您想了解更多关于喷雾式光阻涂布系统报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。

注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途