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应用:
纳米尺寸微粒超薄薄膜沉积(TiO2, SiC, TiN, Pt, Ag, Al, Cu, etc.)
-微粒种类 : 玻璃珠, Al2O3, Si, SiO2
-微粒尺寸 : Nano ~ micron 尺寸 --加热 : Max. 800∩
-极限压力 : 5 *10-3Torr
-真空泵 : 旋转泵 (option : Booster pump + Rotary pump)
-过程控制 : 自动
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注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途