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小型双炉体滑动管式炉TCVD--OTF-1200X-S2-50SL

参考报价: 面议 型号: OTF-1200X-S2-50SL
品牌: 合肥科晶 产地: 安徽
关注度: 10 信息完整度:
样本: 典型用户: 暂无
仪器类型管式炉价格范围5万-10万
升温速度(达到最高温)100°C/min内部尺寸 OD: 80 x ID 75 x Length 2400 ( mm)
加热方式 掺钼铁铬铝合金最大功率2.5KW
控温精度±1℃最高温度1200℃
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AI问答
可以做哪些实验,检测什么? 可以用哪些耗材和试剂?

OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的双炉体滑动管式炉,炉管为Φ50×1400mm的石英管,并配有不锈钢密封法兰,仪器最高温度可以达到1200℃。两个炉体可在滑轨上滑动,实现对原材料的蒸发/升华,及薄膜沉积。通过炉体的滑动可实现对样品快速加热,最大升温速率为100℃/min.同时可选择电动滑轨、质量流量计(MFC)控制的供气系统和等离子射频电源来搭建TCVD系统。

  • 两个炉体在一个滑动轨道上,炉体最高工作温度1200℃

  • 每个炉体加热区为200mm,恒温区为60mm

  • 一个滑动轨道安装在两炉体底部,可手动推动炉体滑动

  • 仪器中配有不锈钢密封法兰


总功率

2.5KW

电压

AC 208-240V 单相, 50/60 Hz, (需要20A的空气开关)

最高工作温度

1200℃

连续工作温度

1100℃

加热&冷却速率

  加热速率: 15°C/sec (RT - 150°C); 10°C/sec (150°C - 250°C);  7°C/sec (250°C - 350°C);  4°C/sec (350°C - 500°C);  3°C/sec (350°C - 550°C);  2°C/sec (550°C - 650°C);  1°C/sec (650°C - 800°C);  0.5°C/sec (800°C - 1000°C);冷却速率:15°C/sec (1000 - 950°C);10°C/sec (950°C - 900°C);7°C/sec (900°C - 850°C);4°C/sec (850°C - 750°C);2°C/sec (750°C - 600°C);1.5°C/sec (600°C - 500°C);1°C/sec (500°C - 400°C);0.5°C/sec (400°C - 300°C);注意: 最大加热和冷却速率是通过炉体滑动来实现的,将炉体加热到目标温度,然后滑动炉体到样品位置来实现快速加热。对样品加热后,滑动炉体,使样品暴露在加热区外,来实现快速冷却

 

加热区长度

每个炉体的加热区为200mm

恒温区

60 mm (+/-1°C @ 400-1200°C)

加热元件

掺钼铁铬铝合金

炉管

  • 高纯石英管

  • 尺寸:50mm O.D x 44mm I.D x1400 mmL

温度控制系统

  • 两个炉体都采用PID方式来调节温度,可设置30段升降温程序。

  • 控温仪表操作视频

  • 设置有超温和断热偶报警

  • 包括2个K型热电偶(已安装在炉体上)

  • 可选:可选择控制模块MTS-02,可使用电脑来控制炉体的升降温
     (点击图片查看详细资料)

真空法兰

  • 仪器中包含一对不锈钢密封法兰,法兰上安装有机械压力表

  • 可选购KF25接口的法兰(提高抽气速率),防腐型真空计
     

滑轨长度

1200mm

真空度

  • 10E-2 torr(采用机械泵)


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注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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