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上海煜志科技有限公司
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| 参考报价： | 面议 | 型号： | YHGS-I |
| 品牌： | 煜志 | 产地： | 上海 |
| 关注度： | 6 | 信息完整度： |  |
| 样本： | 典型用户： | 暂无 | |
| 供应商性质 | 生产商 | 产地类别 | 国产 |
| 仪器类型 | 管式炉 | 价格范围 | 5万-10万 |
| 升温速度（达到最高温） | 30min | 内部尺寸 | Φ60/80/100*1200mm |
| 加热方式 | 优质合金丝加热 | 最大功率 | 8000W |
| 控温精度 | ±1℃ | 最高温度 | 1200℃ |
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简介
1200℃加长双温区CVD系统是由加长双温区管式实验电炉，多通道高精度质量流量计混气系统，高真空分子泵系统等组成。可实现真空达0.001Pa混合气体化学气相沉积、扩散实验。同时上海煜志良好的售后服务体系，使得该产品的整体评价远超同行业标准。
主要技术参数
炉体结构 | 整机采用SUS304不锈钢材质，流线型外观，断热式结构 日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛，保温性能好 双层壳体结构，内置风冷层，有效降低外壳表面温度 炉盖可开启，可以实时观察加热的物料 |
电源 | 电压：AC220V 50/60Hz；功率：8kW |
炉管 | 高纯石英管，高温下化学稳定性强，耐腐蚀，热膨胀系数极小； 尺寸：Φ60/80/100*1200mm |
法兰及支撑 | SUS304不锈钢快速法兰，通过用高温“O”型圈紧密密封可获得高真空 一个卡箍就能完成法兰的连接，放、取物料方便快捷 可调节的法兰支撑，平衡炉管的受力支撑 包含进气、出气、真空抽口针阀，KF密封圈及卡箍组合 |
加热系统 | 加热元件采用优质合金丝，表面负荷高、经久耐用； 加热区长度：350mm*2； 恒温区长度：450mm； 工作温度：≤1150℃； 最高温度：1200℃； 升温速率：推荐≤10℃/min； 最快升温速度30℃/min. |
温控系统 | 日本富士仪表，64段控温程序，可分步、分段； 测温元件：N型热电偶； 控温精度：±1℃ |
混气系统 | 三路质量流量计：数字显示、气体流量自动控制 内置不锈钢混气箱，每路气体管路均配有逆止阀 管路采用不锈钢管，接口为Φ6卡套 每路气体进气管路配有不锈钢针阀 通过控制面板上的旋钮来调节气体流量 流量规格：0~1SLM 流量精度：±1.5% 法兰上预留一路浮子流量计，流量规格0.3-3L/min |
真空系统 | 采用双极旋片真空泵+分子泵，极限真空可达4.0*10-4Pa 复合真空计显示，配置电阻规+电离规 抽速：110L/s，风冷式散热结构 配置真空角阀、波纹管、压差式充气阀 |
可选配件 | 冷水机，各种刚玉、石英坩埚，石英管，计算机控制软件等 |
保修期 | 整机一年保修（相关耗材除外） |
可根据客户要求定制！
特色与优势
1.加长双温区炉体，大大加长了实验区域的温度均匀性；
2.开启式炉盖设置，降低沉积温度、加快沉积速度；
3.日本富士温控仪表，64段控温程序，可分布，分段，三路质量流量计，数字显示精确控制气体流量；
4.双极旋片真空泵+分子泵，实现对真空度的不同要求，极限真空可达4.0*10-4Pa；
5.配置一路浮子流量计及三路高精度质量流量计混气系统，可满足不同气氛下的实验要求；
6.内置S型热电偶，可快速、实时监测反应物料的温度变化情况；
7.尾气活性炭过滤处理，减少反应气体排放对实验室环境的影响。
1200加长双温区CVD系统信息由上海煜志科技有限公司为您提供，如您想了解更多关于1200加长双温区CVD系统报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
