产品描述：
新一代的赛默飞世尔科技Helios5DualBeam具有Helios5产品系列业界领先的高性能成像和分析性能。它是根据需求精心设计的，可满足材料科学研究人员和工程师对最广泛的FIB-SEM使用需求，即使是最具挑战性的样品。Helios5DualBeam重新定义了高分辨率成像的标准：材料对比度最高，高质量样品制备最快、最简单、最精确，用于S/TEM成像和原子探针断层扫描（APT），以及最高质量的亚表面和3D表征。在HeliosDualBeam系列久经考验的性能基础上，新一代的Helios5DualBeam进行了改进优化，旨在确保系统处于手动或自动工作流程的最佳运行状态。产品参数：
半导体行业技术参数：
Helios5CX
Helios5HP
Helios5UX
Helios5HX
Helios5FX
样品制备与XHR扫描电镜成像
最终样品制备(TEM薄片，APT)
STEM亚纳米成像与样品制备
SEM着陆电压20ev-30kev
20ev-30kev
分辨率0.6nm@15kev
1.0nm@1kev
0.6nm@2kev
0.7nm@1kev
1.0nm@500ev
STEM分辨率@30kev0.7nm
0.6nm
0.3nm
FIB制备过程最大材料去除束流65nA
100nA
65nA
最终最优抛光电压2kv
500v
TEM样品制备
样品厚度50nm
15nm
7nm
自动化否是是
样品处理行程110×110×65mm
110×110×65mm
150×150×10mm
100×100×20mm
100×100×20mm+5轴（S）
TEMCompustage
负载锁手动
自动
手动
自动
自动+自动插入/提取STEM杆
材料科学行业技术参数：
Helios5CX
Helios5UX
离子光学具有优越的高电流性能的TomahawkHT 离子镜筒
离子镜筒具有优越的大电流和低电压性能的Phoenix离子镜筒
离子束电流范围1pA–100nA
1pA–65nA
加速电压500V–30kV
500V–30kV
最大水平视场宽度在光束重合点时为0.9mm
在光束重合点时为0.7mm
离子源寿命1,000hours
1,000hours
两级差动泵
两级差动泵
飞行时间矫正
飞行时间矫正
15孔光阑
15孔光阑
电子光学Elstar超高分辨率场发射镜筒
Elstar超高分辨率场发射镜筒
磁浸没物镜
磁浸没物镜
高稳定性肖特基场发射枪提供稳定的高分辨率分析电流
高稳定性肖特基场发射枪提供稳定的高分辨率分析电流
电子束分辨率最佳工作距离下0.6nmat30kV
STEM0.6nmat30kV
STEM0.6nmat15kV
0.7nmat1kV
1.0nmat1kV
1.0nmat500V(ICD)
0.9nmat1kV
减速模式*在束流重合点0.6nmat15kV
0.6nmat15kV
1.5nmat1kV
减速模式*andDBS*1.2nmat1kV
电子束参数
电子束流范围0.8pAto176nA
0.8pAto100nA
加速电压范围200V–30kV
350V–30kV
着陆电压20eV–30keV
20eV–30keV
最大水平视场宽度2.3mmat4mmWD
2.3mm
at4mmWD
探测器Elstar 镜筒内 SE/BSE 探测器 (TLD-SE,TLD-BSE)
Elstari镜筒内SE/BSE 探测器 (ICD)*
Elstar 镜筒内 BSE 探测器 (MD)*
样品室内Everhart-ThornleySE 探测器 (ETD)
红外相机高性能离子转换和电子探测器(SE)*
样品室内样品导航彩色光学相机Nav-CamCamera*可伸缩式低电压、高衬度、分割式固态背散射探测器(DBS)*
可伸缩STEM3+ 探测器*
电子束流测量
样品台和样品样品台灵活五轴电动压电驱动XYR轴的高精度五轴电动工作台XY110mm
150mm
Z65mm
10mm
R360°(连续)
360°(连续)
倾斜-15°to+90°
-10°to+60°
最大样品高度与优中心点间隔85mm与优中心点间隔55mm
最大样品质量样品台任意位置500g样品台任意位置500g 0° 倾斜时最大5kg最大样品尺寸直径110mm可沿样品台旋转时
直径150mm可沿样品台旋转时优中心旋转和倾斜优中心旋转和倾斜
特点与用途：
更易于使用：Helios5是所有体验级别用户最容易使用的DualBeam。操作员培训可以从几个月缩短到几天，系统设计可帮助所有操作员在各种高级应用程序上实现一致、可重复的结果。 提高了生产率：Helios5和AutoTEM5软件的先进自动化功能，增强的稳健性和稳定性允许无人值守甚至夜间操作，显着提高样品制备通量改善时间和结果：
Helios5DualBeam现在具有FLASH功能，这是调整图像的新方式。传统显微镜需要操作员每次获取图像时，都需要通过逐步调整显微镜来完成。使用Helios5DualBeam，通过简单手势在屏幕上激活FLASH，即可自动调整这些参数。自动调整可以显著提高通量、数据质量并简化高质量图像的采集。
Helios 5 DualBeamFIB-SEM（原FEI） 双束扫描电镜信息由北京欧波同光学技术有限公司为您提供，如您想了解更多关于Helios 5 DualBeamFIB-SEM（原FEI） 双束扫描电镜报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
