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半导体检测仪 PlasmaPro100 Estrelas牛津仪器

参考报价: 面议 型号: PlasmaPro100 Estrelas
品牌: 牛津仪器 产地: 英国
关注度: 暂无 信息完整度:
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AI问答
可以做哪些实验,检测什么? 可以用哪些耗材和试剂?
PlasmaPro100Estrelas是为满足微电子机械系统(MEMS)、先进封装和纳米技术市场的各种工艺需求而设计的平台。它提供了灵活的工艺选择,包括光滑侧壁工艺、高刻蚀速率腔刻蚀、高深宽比工艺和锥形通孔刻蚀。该平台的设计使得无需更换腔室硬件就能实现不同工艺,例如Bosch™和超低温刻蚀。同时,它还具备自动匹配能力,高流量的质量流量计和等离子发生器,以及自由基密度更高、腔体尺寸更小和泵效率更高。最重要的是,PlasmaPro100Estrelas可以实现从研发到量产的能力,并且兼容不同尺寸的衬底。

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注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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