牛津仪器Symmetry S3 全能型EBSD探测器 CMOS技术

利用全能型 EBSD 探测器进行快速和多功能分析

Symmetry S3 电子背散射衍射（EBSD）探测器是全能型 Symmetry 产品系列中的第三代探测器。S3 将高速分析（>  5700 个花样每秒（pps））与先进功能相结合，确保更加优异 的性能，满足各领域内科研的需要。 Symmetry S3 是一款旨在从各种类型的样品中，提供出色结果 的 EBSD 探测器。无透镜光纤耦合相机系统，可在所有分析条件 下，实现出色的灵敏度，从束流敏感材料的分析到常规样品的高 速表征。高像素分辨率与有保证的亚像素花样失真水平相结合， 使 S3 成为应变深入分析和高精度 EBSD 工作的理想选择，而软 件控制的探测器倾转功能，确保了对每种尺寸和形状的样品，都 能在优化的几何位置进行采集。

提升 EBSD 硬件能力：尽享高速及高灵敏性优势

• 6 种不同的相机模式，灵活应对多种日常及高难度分析的要求

• 高达 1244 x 1024 像素的图像分辨率

• 采集速度 >5700 pps，分辨率为 156 x 128 像素

• 无镜头光纤耦合相机系统，实现高灵敏度

• 保证高精度 EBSD 工作（包括 HR-EBSD）的亚像素失真

• 软件控制的探测器倾转，确保每个样品处于理想的几何设置

• 接近传感器系统（正在申请专利），可防止碰撞并尽可能减少 停机时间

• 可选集成 5 个二极管的前散射探测器 （FSD）成像系统

实现超高速分析：花样质量同样出色

Symmetry S3 的超高分析速度可在 60 秒内，根据国际标准进 行晶粒尺寸表征。在最大速度（156 x 128 像素）下，基于出色 的花样分辨率和光纤光学系统实现的高灵敏度，即使快速分析也 能保证数据质量及 SEM 的分辨率。

力求多功能性：完美表征所有样品

Symmetry S3 探测器的设计适合对样品进行全方位的分析。其 软件控制荧光屏升降功能，确保探测器可以安全地定位到每个 样品和任何测量的理想几何位置，包括需要进行大面积拼接或 进行透射菊池衍射（TKD）的样品。

• 高达 +/- 22 mm 电动升降移动

• 自动校准确保在任何几何位置上都能完美标定

• 接近传感器系统在潜在碰撞发生之前检测并预防——节省资 金和停机时间

Symmetry S3 的百万像素分辨率和保证仅亚像素级失真，使其 成为高精度 EBSD 的理想探测器

• 经过 HR-EBSD 研究验证过的性能

• 高精度标定模式（已申请专利），实时定位精度优于 0.01°

扩展更多应用需要：叠加多种信号于一体

5 个可选的前散射探测器（FSD） 可提供快速灵活的样品成像

• 下部 3 个二极管，用于晶体学取向衬度和形貌衬度成像（或 采集 TKD 的暗场像），可以合成伪彩色图像

• 上部 2 个用于原子序数 Z 衬度成像的二极管

  Symmetry S3 EBSD 探测器规格
  分辨率	最大 1244 x 1024
  速度	>5700 pps （156 x 128 像素分辨率）
  光学系统	无透镜光纤耦合光学元件
  CMOS 传感器	针对 EBSD 开发和优化的定制 CMOS 传感器
  失真	保证 <1 像素
  灵敏度	最大 1000 pps/nA
  荧光屏	高灵敏度全能荧光粉，匹配 CMOS 传感器形状
  碰撞保护	接近传感器防撞系统（专利申请中）
  升降	电动荧光屏升降控制，高达 +/- 22 mm 的移动范围
  插入	全电动、高速、高精度插入和缩回
  接口	波纹管型，实现高真空完整性
  前散射探测器系统	可选 5 个二极管前散射探测器系统
  高温荧光屏	可选配、高灵敏度荧光屏，带光学 干涉红外滤光片
  控制盒	可选，探测器插入、升降控制

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