牛津仪器 OmniProbe系列纳米操纵手 自动化系统

牛津仪器纳米操作手 OmniProbe 的低温提取( Cryo lift-out )将样品提取功能扩展至低温样品（包括用高压冷冻法制备的样品）。

特色和优点

• 包括第8代具有创新性的先进技术

• 实现从纳米线操作到TEM样品制备，再到电学和机械测量的各种应用

• 3轴样平台可以沿任意方向线性移动（全向性）

• 在任何样品倾斜角度下都能实现正交导航

• 将样品快速旋转到特定角度

• 可以大范围内执行平稳而精确的操作

• 即使在视野外也始终知道探头尖端的位置

• 在任意端口安装都可以预测移动行为

• 可以轻松地调出存储位置，减少操作员疲劳，并提高成功率

• 避免碰撞

• 气动插入/回缩链接到电镜软件（取决于OEM）

• 内置能力，可为针施加最大+/- 10 V的偏压，用于电压衬度成像或其他应用
  

同轴旋转功能

同轴旋转分辨率可达0.1度，使样品在旋转期间一直处于相当于60um水平视场的放大倍率下成像。

• 可以安全的完成样品旋转，没有任何碰撞的风险。每次旋转后，不需要重新定位样品或探针尖端

• 在FIB中，这保证了对针尖打磨的速率及简易性，以改善电学特性表征的可靠性及对20nm以下特征样品尺寸进行操作时的精确性
  

自动化系统

• 电脑和显示器

• 2U机架式以太网控制器

• 带有100nm线性反馈的3轴样平台

• 运动控制软件界面

• 用户手册和安装指南

OmniProbe 400

OmniProbe 400是第九代纳米操纵手，采用压电驱动技术，可以实现纳米级别的定位。OmniProbe 400具有很高的灵活性和性能，是高分辨率和高效率的纳米操纵手。

4³表现

OminProbe 400可在大范围下轻松实现在SEM中的纳米级操作和测试以及在FIB中TEM样品的各种提取方案。

• 4个自由度（X，Y，Z，R）；

• 4毫米或更长的工作距离；

• 4个与重现型及精确性有关的参数：编码器分辨率、电机分辨率、重复性、线性度。

准确性

纳米分辨率压电马达和10nm闭环编码器提供专业水平的精度、线性度和平滑运动。

速度

多级自动化可以减少操作步骤，快速获得结果

• 插入位置固定，无需反复对中

• 无需放气即可在3分钟内完成换针

• 同轴旋转可实现快速针尖打磨、针尖清洗和样品重新定位

• 安全、精确地定位到样品附近的位置（该位置储存在系统中）以及回到初始位置
  

精确的闭环反馈控制

OmniProbe 400采用闭环控制，提供平稳的运动、可靠的精确度和高度的集成。除了极高的移动精度，OmniProbe 400还集成了电动同轴旋转和快速原位换针操作作为标配：

• 对于易碎的样品，采用温和的非气动插入和收回操作

• 高精度、高线性和高可重复性的运动

• 可沿任意方向直线移动（全向性）

• 在任何倾斜样品处正交导航

• 将样品快速定向到特定角度

• 远距离执行平稳精确的操作

• 即使是在视野外，始终知道探头尖端的位置

• 在任意有端口安装都可以预测移动

• 使用固定的、以及用户可编程的设置来减少操作员疲劳，提高成功率

• 避免碰撞

• 同轴旋转

• 原位换针
  

原位换针

• 无需放气即可在3分钟内完成换针

• 避免大气污染，保持高真空以获得良好的性能

• 粘附到针尖的样品可以安全地存储供事后使用，提高效率
  

同轴旋转

针尖始终保持在视野内，以便快速进行针尖打磨和样品重新定向，而不会有样品丢失或意外漏气的风险。

• 具有纳米级精度的定位

• 延长的探针寿命

• 精细的针尖具有明确的欧姆性质

• 为利用范德瓦尔斯力进行纳米颗粒操作制备显微探针

• 轻松制备平面样品、侧切样品和背切样品

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