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PCE-6小型等离子清洗机

参考报价: 面议 型号: PCE- 6
品牌: 沈阳科晶 产地: 辽宁
关注度: 712 信息完整度:
样本: 典型用户: 暂无
仪器种类等离子体清洗器价格范围1-5万
设备尺寸 Ø16cm×19cm控制方式 手动
功率 7.2W、10.2W、29.6W工作气体3路
样品腔材质 石英射频频率 3.0MHz,功率3档可手动调节
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AI问答
可以做哪些实验,检测什么? 可以用哪些耗材和试剂?

产品简介:PCE-6小型等离子清洗机的等离子腔体为 ?160mm×190mm的石英腔体,采用的射频电源功率3.0MHz( 1%),输出功率7.2W、10.2W、29.6W三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等),对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。

 

产品型号

PCE-6小型等离子清洗机

主要特点

1、通过控制面板的按键及开关,可控制调节射频功率、真空泵的开闭、清洗时间。

2、时间、功率、真空度等信息显示在一组4位数码管上。

   

3、设有一个三通阀,可精确控制进气流量,以及大气流清洗腔体,进气接口为6mm卡套接口。

4、选用大功率射频电源设备可进行等离子刻蚀和等离子灰化实验。

技术参数

1、电源:AC220V  50/60Hz

2、输出功率:7.2W、10.2W、29.6W

3、真空泵功率:<500W

4、总功率:<600W

5、射频频率:3.0MHz,功率3档可手动调节

6、等离子腔体:高纯石英腔体,?160mm×190mm,采用铝制折叠式法兰进行密封,法兰上设有?45mm 的观

        察窗

7、真空泵:240L/min,直连式双旋真空泵

8、极限真空度:50mtorr

9、通入气体:可通入多种气体来产生等离子,如N2、Ar、H2、O2、Air和混合气体等(根据材料性质选定)

清洗及蚀刻

产品规格

尺寸:400mm×300mm×300mm,重量:10.2kg

可选配件

1、2"-6"石英舟(盛放基片)

2、2-4通道质子或浮子混气系统


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注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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