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沈阳科晶自动化设备有限公司
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| 参考报价： | 面议 | 型号： | VTC-16-3HD |
| 品牌： | 沈阳科晶 | 产地： | 辽宁 |
| 关注度： | 769 | 信息完整度： |  |
| 样本： | 典型用户： | 暂无 |
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VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪是一款紧凑型的等离子薄膜溅射仪（直流普通型），控制面板采用触摸屏模式，基片极限尺寸为2″，放置样品的直径为Ø50mm，加热温度达500℃。VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪可溅射金、银、铜三种靶材，不可以溅射轻金属和碳。本机采用旋转式样品台，能够依次在同一样品上涂覆三层薄膜，适用于实验室制备复膜的样品。VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪采用PLC控制面板对设备进行控制，操作方便直观。该机设备小巧，占用实验室空间少，操作简单，应用广泛。因此被广泛应用于各大高校及科研院所的实验室中。
1、PLC控制面板，4.3″触摸屏，PID控温方式。
2、可控参数包括真空度、电流、靶材位置、基片加热温度。
3、可与真空泵、不锈钢波纹管KFD25快速卸装卡箍连用。
4、已通过CE认证。
| 产品名称 | VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪 | |
| 产品型号 | VTC-16-3HD | |
| 安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：不需要 2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地 3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（带减压阀） 4、工作台：尺寸600mm×600mm×700mm，,承重50kg以上 5、通风装置：不需要 | |
| 主要参数 | 1、输入功率：110V/220V通用 2000W（含真空泵） 2、输出功率：1600VDC 50mA（最大电流） 3、石英罩：Ø160mm×120mm 4、样品台：Ø50mm（可选购加热型样品台，最高温度可到500℃；最长溅射时间不可超过5min） 5、真空泵：120L/M旋片式真空泵6、进气口：装有精密可调针阀，以实现方便的调节进气量 7、靶材：尺寸直径Ø47mm，厚度0.1mm-3mm；可溅射Au、Ag、Pt、Cr、Ni， 不可溅射氧化物、半导体、一些轻金属、Al、Zn、C等 | |
| 产品规格 | 尺寸：360mm×350mm×3600mm； | |
| 可选配件 | 1、KF25真空接口、卡箍 2、不锈钢波纹管（600mm） 3、旋片式真空泵（120L/M） 4、铂、银、锌等各种高纯度金属靶材 5、加热型样品台 | |
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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
