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沈阳科晶自动化设备有限公司
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| 参考报价： | 面议 | 型号： | UNIPOL-1203 |
| 品牌： | 沈阳科晶 | 产地： | 沈阳 |
| 关注度： | 711 | 信息完整度： |  |
| 样本： | 典型用户： | 暂无 |
400-6699-117转1000
发布时间：2022年04月
UNIPOL-1203化学机械磨抛机，适用于CMP平坦化和平滑化工艺技术， 整机研磨部分采用防腐材料，耐化学腐蚀，配置自动滴料器和精密磨抛控制仪，全自动触摸屏面板，从加工性能和速度上同时满足晶圆等面型加工的需求。
1、超平不锈钢抛光盘（平面度为每25mm×25mm小于0.0025mm）。
2、超精旋转轴（托盘端跳小于0.01mm）。
3、设有两个加工工位，可分别进行控制。
4、配有全自动控制触摸屏面板，可设置主轴转速、摆臂速度、磨抛时间。
5、配置自动滴料器，流量速率可视化调整，自动研磨和抛光。
6、配置GPC-100A精密磨抛控制仪，可调节压力，修整面型，使磨抛更加方便快捷。
7、研磨部分采用防腐材料，耐化学腐蚀。
| 产品名称 | UNIPOL-1203化学机械磨抛机 | |
| 产品型号 | UNIPOL-1203 | |
| 安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：设备配有上水口及下水口，需自行连接自来水及排水 2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地 3、气：无 4、工作台：尺寸800mm×600mm×700mm，承重200kg以上 5、通风装置：不需要 | |
| 主要参数 | 主机部分 | |
| 1、电源:220V 2、功率:450W 3、磨抛盘转速:10-240rpm 4、磨抛工位:2个 5、摆臂调节档位:1-15档 6、托盘端跳:0.008/250mm 7、不锈钢磨抛盘:φ300mm 8、载样盘:φ105mm 9、修盘环:φ127.5mm | ||
| GPC-100A精密磨抛控制仪 | ||
| 1、载样盘直径：Ø103mm 2、载样盘轴向行程：12mm 3、数显表精度：0.001mm 4、载样盘可调加载压力： 0.1kg-2.1kg 5、压力确认仪有效量程：1g-5000g 6、样品装卡方式：真空吸附 7、承载样件尺寸：直径≤103mm、 厚度≤12mm 8、尺寸：外径146mm，高266mm | ||
| 自动滴料器 | ||
| SKZD-2滚筒滴料器 1、容积：1.5L 2、流量：0-35ml/min 3、尺寸：170×290×350mm； 重量：3kg SKZD-4自动滴料器 1、加液泵：4个 2、料液瓶：600ml/瓶 3、计时范围：1-999min 4、流量：0.1ml/min-10ml/min 5、尺寸：230×370×450mm； 重量：10kg | ||
| 产品规格 | 1、外形尺寸:550mm×700mm×420mm | |
| 序号 | 名称 | 数量 | 图片链接 |
| 1 | 铸铁磨盘（Ф300mm花盘） | 1个 |  |
| 2 | 不锈钢磨盘（Ф300mm平盘） | 1个 |  |
| 3 | 载物盘（陶瓷） | 1个 |  |
| 4 | 1个 |  | |
| 5 | 各1片 |  | |
| 6 | 磁力片（带背胶） | 2片 |  |
| 7 | 研抛底片 | 2片 |  |
| 8 | 0.5kg |  | |
| 9 | 石蜡棒 | 4根 |  |
| 10 | 二氧化硅悬浮抛光液 2040 W0.05 | 1瓶 |  |
| 序号 | 名称 | 功能类别 | 图片链接 |
| 1 | YJXZ-12搅拌循环泵 | （可选） |  |
| 2 | 精密测厚仪 | （可选） |  |
| 3 | 陶瓷研磨盘 | （可选） |  |
| 4 | 玻璃研磨盘 | （可选） |  |
| 5 | 磁性树脂金刚石研磨片 | （可选） |  |
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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
