工业显微镜应用-捕捉所有缺陷：观测微光学元件

微光学元件应用于众多照明或成像产品之中。这类元件的检测必须 同时满足高精确度且不损伤元件这两项要求，因此，这些元件的质量控制极具挑 战性。Leica DCM 3D 测量显微镜完美融合了共聚焦和干涉测量技术，即便这些 元件带有经过抛光且难以检测的弯曲表面，利用该设备对这些微光学元件的测量 可达到纳米级精度及超高速的测量。