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工业显微镜应用-高清晰度共聚焦显微镜在薄膜表征上的应用 |
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由于涂层在工程和科学领域中广泛应用,因此薄膜表征技术备受青睐。薄膜的机械、功能和几何特 性差异很大,难以找到通用的表征技术。共聚焦显微镜技术和干涉光学分析是可以用于这方面的少 数方法之一。本报告介绍如何测量各种薄膜的厚度、残余应力、粘附力和粗糙度,以及这种表征技 术如何提供优于传统表征方法(如压痕或划痕测试)的结果。