用Leica EM TIC3X三离子束切割仪解剖太阳能电池

方案摘要

这种复合型材料要获得有效截面，机械切割磨抛方式很难保证切割面的平整，也无法避免样品剖面的污染和边缘损伤；如果采用聚焦离子束FIB加工，应对几百微米的加工区域，将耗费大量时间和带来极高的使用成本。因此，氩离子束切割仪几乎成为高效率、低成本的获取无应力损伤和无污染的平整剖面的唯一的选择。