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AL120-12晶圆搬送机对应可使用FOUP(装载口)和FOSB,适用于低成本的后期检查。安全且符合人体工程学的设计确保了操作人员在搬送晶圆时(包括薄晶圆和变形晶圆)的效率和安全。
CIX100检测系统是专为需要保持高要求清洁度标准的生产制造商而研发的整体解决方案。依照企业和国际标准对技术清洁度检测数据进行快速采集、处理和存档。该系统方便直观的软件可引导用户完成每一步流程,即使经验不足...
AL120晶圆搬送机可对应200mm以下晶圆尺寸的硅、化合物晶圆,可以安全高效搬送薄片晶圆,非常适合于前道到后道工程的晶圆检查。