400-6699-117转1000
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| 参考报价： | 面议 | 型号： | XYZ Series |
| 品牌： | CEDRAT | 产地： | 法国 |
| 关注度： | 52 | 信息完整度： |  |
| 样本： | 典型用户： | 暂无 |
400-6699-117转1000
压电平台XY200M沿X，Y和Z轴的行程为200 μm，最高可以承受3kg的负载。应用领域包括共焦微镜，掩膜定位和检测。这种平台基于APA200M设计，具有很高的硬度。平台可以配备精度高达10nm的应变计或涡流传感器。平台沿X，Y和Z轴的转动非常小。移动外框可根据要求定制。
这种结构要求驱动器的前两个通道为推拉式。
参数 | 单位 | XYZ200M |
型号 | V-XYZM200 | |
备注 | - | |
传感器 | SG,ECS | |
主动轴 | TX,TY,TZ | |
最大空载位移[Tx,Ty] | um | 180 |
Z方向最大面外位移 | um | 200 |
Z方向的最大转动 | urad | 240 |
XY方向的最大转动 | urad | 50 |
电压范围 | V | -20…150 |
硬度 | N/um | 0.66 |
高度(Z 轴) | mm | 44.0 |
尺寸(X&Y 轴) | mm | 100*100 |
分辨率 | nm | 1.8 |
质量 | g | 540 |
空载共振频率(在致动方向) | Hz | 380 |
响应时间 | ms | 1.32 |
电容(每个电气接口) | uF | 6.30 |
机械接口(有效负载) | 物镜接口最大4/55 *1.36(指定) | |
机械接口(框架) | 4 Ф4.5mm 孔 []84 | |
电气接口 | 3 RG178B/U 同轴电缆 |
XYZ轴压电平台信息由科艺仪器有限公司为您提供，如您想了解更多关于XYZ轴压电平台报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
