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SPS 光刻机 POLOS µ

参考报价: 面议 型号: POLOS µ
品牌: SPS-保罗 产地: 德国
关注度: 13 信息完整度:
样本: 典型用户: 暂无
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SPS 光刻机 POLOS μ

要特征: 
1、写入分辨率低至2 μm
2、可调整的写作领域和具有可互换目标的解决方案
3、与CAD文件或位图图像兼容
4、与g线光刻胶兼容
5、兼容多种基材(硅,玻璃,金属,塑料等)
6、兼容任何样品尺寸达4英寸的晶片
7、相机反馈以进行对准步骤
8、由于没有硬掩模,节省了时间和金钱
9、将设计直接覆盖在样品上的直观对齐方法
10、占地面积小的桌面
11、非常适合微电子,2D材料,微流体,光电,opty或任何其他2D微加工应用的技术


规格参数:

1、光源曝光:435 nm; 对准:525 nm
2、最小特征尺寸:2至23 μm可调
3、对准分辨率:低至1 μm / cm2
4、最大曝光面积:75 x75 mm2
5、基板尺寸:最大4”晶圆
6、系统尺寸:W:(36厘米); D:(36厘米); 高:(60厘米)
7、多合一PC:Win 10、24英寸全高清
8、SFTprint软件:机器控制,步进重复,自动剂量测试,缝合,对齐
9、SFTconverter:将标准格式(gdsii,dxf,cif,oas)转换为位图图像。 随附的CAD软件


SPS 光刻机 POLOS µ信息由上海迹亚国际商贸有限公司为您提供,如您想了解更多关于SPS 光刻机 POLOS µ报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。

注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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