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SPS 旋涂仪 SPIN150i

参考报价: 面议 型号: SPIN150i
品牌: SPS-保罗 产地: 德国
关注度: 19 信息完整度:
样本: 典型用户: 暂无
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SPS 旋涂仪 SPIN150i

1、结构:
   * NPP-H(具有α晶的天然聚丙烯)的耐腐蚀结构)为整个系统提供更好的刚性和韧性
   *高品质无缝制造表面,全工程塑料
   *适用于通风柜和杂物箱
   *最大处理室直径:202毫米

   *尺寸(台式版):27.5 x 45.0 x 25.0厘米(宽x深x高)

2、数字电机控制:
    *具有数字增量速度信号的数字实时闭环控制伺服电机反馈
    *提供高精度的转速(±0.1 rpm)和宽范围的转速(1至12,000 rpm),这是传统PID电机控制器无法实现的

    *允许具有广泛旋转速度参数的用户以更安静的方式进行工作/实验,系统高速运行时更稳定,振动更少

3、透明盖:
   淬火的透明玻璃瓶盖,带有注射器支架和N2扩散器,可在处理过程中进行N2吹扫
  *注射器支架可帮助用户始终在期望的相同位置和位置分配抗蚀剂/化学物质
  *控制室环境对于恒定的过程结果至关重要
  *坚固的自弹式盖铰链,可自动将盖保持在最佳状态,以便轻松搬运和卸下基板;同时确保盖子上的任何残留化学物质都流入系统排水口
   *透明盖清晰可见内部

   *可手动分配

4、安全联锁:
    *Process Chambe Lid始终为所有用户安全锁定,并且仅在单击盖子打开显示图标时才能打开
    *电磁盖联锁在打开时停止旋转,而真空联锁(可编程)在没有足够真空或没有真空的情况下停止旋转
    *防止伤害使用者并避免基材破裂

    *具有国际CE标志和过载保护的电气安全

5、连接:
  *三个可编程继电器输出,可用于操作自动分配系统,外部阀或其他附件。
  *多种夹头可供选择,用于直径最大为160 mm的不同尺寸的基板
  *制氮过程中的氮气扩散器
6、可拆卸控制器:可拆卸的全尺寸触摸屏,手套防护,IP 52,耐化学腐蚀
7、彩色触摸屏显示:可轻松编程速度,加速度和时间
8、无限程序存储:可用于多个步骤的配方,每个配方均适用于:
          *时间:0.1至99999秒/步
          *速度:0至12,000 rpm
          *旋转方向:顺时针,逆时针,搅动
          *加速/减速:1至30,000 rpm / sec(每步可选)
          *真空开/关
          *3个可编程的干触点:例如用于分配单元,氮气扩散器等的自动控制
9、USB端口:可轻松上传和下载配方以及更新软件版本
10、存储:结构化和受密码保护的方案存储,可轻松安全地进行管理



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注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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