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分子束外延系统(可接脉冲激光沉积模块)

参考报价: 面议 型号: MBE+PLD
品牌: 暂无 产地: 暂无
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AI问答
可以做哪些实验,检测什么? 可以用哪些耗材和试剂?
优异的性能价格比,Mantis公司生产的分子束外延系统(配置脉冲激光沉积模块)落户广州的华南理工大学,为众多老师开启薄膜外延制备的新篇章。欢迎前来参观咨询。
主腔室 *1、2英寸高真空沉积系统,500mm直径;
2、椭圆形或者半球形,304#不锈钢,金属密封;
3、沉积配置:4个共焦窗口(NW100CF),4个共焦窗口(NW63CF);
4、真空腔壁窗口:1x NW200CF,2x NW150CF,3x NW100CF,1x NW63CF和1x NW100CF做HREED窗口,1x NW63CF,7x NW35CF;
*5、真空:1000l/s分子泵,快速机械泵,本底真空好于2e-10torr,真空规x1;
*6、整体液氮冷却;
7、2.5kw加热系统;
*8、3个10cc以上 Effusion cell;
*9、合理的腔体结构设计及机械设计,确保系统可分别运行于MBE模式及PLD模式而无相互干扰。
*10、2英寸衬底上MBE及PLD薄膜厚度的均匀性均优于±5%;
样品腔和传输 1、80l/s分子泵和机械泵
*2、真空优于5e-9torr,真空规x1;
3、手动控制与主腔室的阀门;
4、样品进入时带观察窗口;
*5、除气加热装置;
1100℃加热系统 *1、1100℃连续钨丝加热,上限1200℃;
2、功率和温度控制;
3、zei大消耗2.5kw;
样品旋转 *1、20-80rpm速度;
2、直流电机控制;
PLD靶材holder及光路 *1、可水平放置2个1 in的靶材;
*2、各靶材可自转及公转,并在Z轴方向可调,确保激光能覆盖整个靶材
*3、靶材温度RT-200 ℃可调
*4、靶材与衬底距离20-200mm可调
*5、PLD光路设计合理,提供一套PLD光学透镜系统。
热蒸发源 1、共3个:NW63CF 10cc-1300℃;
2、NW100CF 35cc-1300℃;
3、NW100CF 100cc-500℃;
*4、3个PBN10cc热蒸发源;
5、电源和阀门,铆合法兰,隔热材料/PBN;
电子束蒸发 1、高真空兼容且能烘烤到250℃;
*2、直径57mm,规格NW63CF;
3、4个分立自带高压的和密封的pockets;
4、溅射模式:共溅;
5、直接水冷,流量控制,500wzei大功率;
6、靶材与衬底可调距离:200mm;
7、源材料:直径2mm、长27mm的柱状源或者1cc的坩埚;
*8、沉积速率:在靶材与衬底距离100mm时,:优于5nm/min(靶材为柱状),及20nm/min(靶材为坩埚);
9、电动控制阀门;
RF离子源 *1、射频源:50mm束斑;
2、标准长度:290mm;
*3、zei高功率:600w,13.56MHZ;
*4、自动调节,气体有氮气和氢气;
5、超高真空兼容;
6、整合电动控制阀门;
配件 1、替代的硬件;
2、pc机;
*3、驱动自动化;
 

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