SEMICON China 2019 | 飞纳电镜在半导体领域的应用

SEMICON China 是中国首屈一指的半导体旗舰展览，每年吸引全球高数量和高质量的观众到场参观，为大家提供了解最新产品、技术和解决方案的专业平台。

2019 年，飞纳电镜将携台式扫描电镜能谱一体机 Phenom ProX，在 SEMICON China 2019 为大家带来扫描电镜在半导体领域的最新应用。

时间：2019 年 3 月 20 日 - 22 日
地点：上海新国际博览中心
飞纳电镜展位号：N5 馆 5619

飞纳台式扫描电镜在半导体行业的应用

光镜 + 电镜导航界面 —— 快速寻找 Bonding 位置

飞纳电镜彩色光学导航窗口 + 低倍 SEM 导航窗口 + 自动马达台，帮助用户一键找到感兴趣位置，永不丢失视野。

优中心样品杯 —— 多角度检测 Bonding 质量

飞纳电镜优中心 (Eucentric) 样品杯

飞纳台式扫描电镜大样品室卓越版 Phenom XL 的优中心样品杯可以通过倾斜、旋转样品，使用户得到更丰富的形貌特征，轻松、安全地从各个角度观察样品：

· 自动保护系统，用户无需担忧碰撞探头
· 腔室 3D 动态显示，实时模拟显示样品与探头的位置关系
· 优中心样品转动，永不丢失视野

飞纳台式扫描电镜能谱一体机 Phenom ProX

在半导体领域中，扫描电镜可以用来分析材料成型机理，器件失效分析，工业工艺控制等问题，对研究和生产有着至关重要的作用。

飞纳电镜的高性能、高稳定性、操作简单等特性，在半导体领域得到了广泛的应用。

第五代飞纳台式扫描电镜能谱一体机 Phenom ProX 是终极的集成化成像分析系统，分辨率提升 20%，进一步增加应用范围，更加适用于对电子束敏感的样品。