Phenom扫描电镜 Phenom Pro适用于蚀刻项目，参考多项行业标准扫描电镜，台式电镜，台式扫描电镜，桌面扫描电镜，氢氧化钾蚀刻。可以检测氢氧化钾等样品。可应用于多个行业领域。

氢氧化钾蚀刻 （KOH）是制造微型器件的一个重要工艺，用于从硅片上去除材料。选择性地蚀刻硅片的某些部分，用一层二氧化硅或掩膜来保护剩下的部分。然而，残留物的存在成为这种技术的一个缺点，因为它会对器件的制造过程产生负面影响。在这篇博客中，我们提出了一种利用蚀刻残留物的方法，将其作为后续蚀刻的掩膜，以制造两层微结构。我们还提供了如何有效地利用扫描电镜SEM对这些微结构进行成像的例子。

飞纳台式扫描电镜

1997年FEI和飞利浦电子光学宣布合并其全球业务

2008年台式扫描电子显微镜飞纳(Phenom)进入中国市场
2012年飞纳(Phenom）台式扫描电镜全球销最突破2000台
2013年飞纳（Phenom)发布第三代台式扫描电镜，放大倍数
10万倍，分辨率优于8nm 

17世纪荷兰光学天才:Antoni van Leeuwenhoek设计并制造世界第一台光学显微镜 

19世纪Anton和Gerard Philips在荷兰埃因霍温创建了飞利浦公司

1947年LePoole教授为Dorgelo教授展示荷兰第一台扫描电子显微镜

飞纳(Phenom)主要特点

一长寿命/高亮度/低色差CeB6灯丝

一表面细节丰富的高质量图片

一内置彩色光学显微镜

一自动马达样品台

一30秒快速成像，操作简单

一光学与低倍电子双重导航

一防震设计，对放置环境无牛条殊要求

一样品仓低真空技术，直接观测绝缘体，}c需喷金

一四分割高灵敏度背散射电子探头，兼得样品表面

  形貌与成份信息

飞纳台式扫描电子显微镜专业版ProPhenom Phenom Pro 适用于蚀刻信息由复纳科学仪器（上海）有限公司为您提供，如您想了解更多关于飞纳台式扫描电子显微镜专业版ProPhenom Phenom Pro 适用于蚀刻报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。

注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途