珀金埃尔默多重四极杆ICP-MSNexION® 5000可以用在其他化工行业领域，用来检测超纯水，可完成污染物项目。符合多项行业标准。

超纯水（UPW）被广泛地用于半导体器件生产中所有湿法工艺步骤，包括晶片冲洗和化学浴中化合物的稀释。在这些关键步骤中，可能会吸收来自化学浴和冲洗水中的污染物，然后通过一系列的化学和电化学反应沉淀到硅表面。在成品的重点区域中，如果金属污染物的浓度达到50 ppq，就会改变集成电路部件的电气参数，导致其无法通过最后的电气测试。因此超纯水纯度测定至关重要。

NexION 5000是业界首款多重四极杆ICP-MS，由四组四极杆组成，其性能超越了传统的三重四极杆技术，无论是在背景等效浓度还是在检出限，NexION 5000都比传统的三重四极杆有数量级上的改善。

•          四组四极杆：

第一组

四极杆离子偏转器（Q0，Quadrupole Ion Deflector）是一个基于离子能量的静电质量分析器，对离子进行动态聚焦和质量筛选，同时把离子偏转90度以实现与中性成分和光子分离，导入下一级四极杆

第二组

为第一个四极杆质量分析器（Q1，Transmission Analyzer Quadrupole），用作质量分析器或将离子引导至四极杆通用池。它包含长预四极杆，可获得更好的高能离子聚焦，从而具有单位质量或更好的质量分辨，最佳分辨率 < 0.3 amu

第三组

为四极杆通用池（Q2，Universal Cell Technology），是市场上唯一由四极杆构成的池技术，具有动态带宽质量调谐能力（从而可以对反应进行有效的控制），标配轴向场技术（从而可以使用任何所需的气体），既可以作为离子聚焦加速的离子通道，又可以作为特定离子的质量选择器，抑制池内副反应的产生，确保所需反应的完全，从而彻底消除干扰。

第四组

为第二个四极杆质量分析器（Q3，Transmission Analyzer Quadrupole），用作质量分析器或将离子引导至检测器。具有单位质量或更好的质量分辨，最佳分辨率 < 0.3 amu

•          第二代带OmniRing™的三锥接口（TCI）技术与四极杆离子偏转器（QID）相结合，保证仪器长时间运行出色的稳定性

•          独有的无需水冷LumiCoil™ RF工作线圈，无需维护且无需更换

•          可升级SEMI S2/S8认证（应急按钮），从而符合半导体超净间设施集成要求

典型应用：

•高纯金、银、铜、锡、稀土元素中痕量杂质的准确分析

•海水中ppb量级元素的准确分析

•石脑油、汽油、色拉油、氨水直接进样分析S、P、Cl

•10ppt杂质含量的高纯试剂和高纯材料分析

•⁸⁷Rb/⁸⁷Sr、²³⁸U/²³⁸Pu的同位素比值分析

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途