极紫外EUV/软X射线光源

无电极Z-Pinch技术

     各种文献表面Z-Pinch等离子体能有效地产生极紫外光和软X射线，但是到现在为止都是使用电极将高放电电流导入等离子体中。电极一般都要与高温等离子体接触，可能熔化并产生很多残留碎屑。

Energetiq独特的技术也是基于Z-Pinch等离子体，但是却完全不使用电极而是通过电感将电流耦合进入等离子体中。Energetiq光源中的等离子体通过磁性远离光源内壁，能够将热负载消除到最低并减少残留碎屑。Energetiq的无电极Z-Pinch技术有卓越的空间稳定性和稳定的可重复输出功率。

EQ-10HR无电极Z-Pinch 10kHz EUV光源

EQ-10HR是一款紧凑、易用、可靠且性价比高的EUV光源，基于Energetiq使用氙气的无电极Z-Pinch技术。EQ-10HR高重复率EUV光源特别适合要求大批量生产模拟的计量学和研究应用。EQ-10HR EUV光源为一个独立系统，可以直接集成到工艺设备中。系统包括无电极Z-Pinch光源组装、真空泵子系统、功率输出子系统和控制电路。

性能

1.10kHz重复率

2.小等离子体尺寸

3.低残留

4.低成本

5.氙气流速低

6.将消耗成本降至最低

7.占地面小

可靠性

1.无电极Z-Pinch专利技术

2.符合CE标志和SEMI S2-0703

应用

1.EUV光学元件测试

2.EUV计量学

3.耐EUV开发

4.缺陷检测

5.EUV显微学

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