WLI Infra干涉仪

德国BMT WLI Infra干涉仪是用于硅薄膜的厚度测量设备。仪器适用于实验室、车间和生产线上的质量管理。测量头提供空前的重复性，设计坚固紧凑、免维护，适用于在线测量。

产品特点：

MEMS、硅梁、透明薄材料的非接触高精度厚度测量；

纳米级分辨率；

手动或自动测量步骤设计，简单易用；

不受温度变化和热效应的影响；

极佳的重复性；

可配备表面轮廓测量。

技术参数：

厚度分辨率（nm）             <1

探针大小   （μm）              约150（可定制）

厚度范围   （μm）              0.1-600

仪器尺寸   （mm）             320x320x380

重量          （kg）               120

晶圆夹具                             定制，可达30cm

全自动测量

标准或定制的软件包

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途