展品预览
超构透镜光学检测系统
MetronLens™
一款面向超构表面、超构透镜等新型微纳器件的光学检测系统
✔ 3D光场分布+相位分布+远场分布
✔ 400 - 1700 nm宽波段色/像差矫正
✔ 光场扫描≤ 1 μm(min)/≤ 3 μm(typ.)
✔ 相位精度≤ 40 mrad
晶圆级衍射光波导
光学检测系统
Metrondie® SRG
一款面向衍射光波导晶圆的 “量”、“检”、“测”系统
✔ 衍射效率检测 220-950 nm
✔ OCD(周期、形貌参数)
✔ 自动化晶圆扫描
✔ 高稳定性，高UPH
更多看点
相约NO.52
复享光学展台
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