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扫描电镜专用原位AFM探测系统

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Quantum Design China

参考报价: 面议 型号:
品牌: GETec Microscopy 产地: 奥地利
关注度: 100 信息完整度:
样本: 暂无样本 典型用户: 暂无
产地属性欧洲仪器种类原子力显微镜


扫描电镜专用原位AFM探测系统

 

AFSEM™ —使AFMSEM合二为一


奥地利GETec公司发布的AFSEM是一款紧凑型,适用于真空环境的AFM产品,能够轻松地结合两种强大的分析技术—AFM和SEM为一体,扩展SEM样品成像和分析能力。AFSEM技术与SEM技术的完美结合,使得人们对微观世界和纳米世界新探索新发现成为可能。





SEM结合AFM完美解决方案:

* 扫描电子显微镜中进行AFM原位分析

* 使用SCL的自感悬臂技术的纳米探针

* 无需激光和探测器,适用于任何样品表面

* 与大多数SEM兼容而不妨碍正常的操作

* AFM和SEM协同并行分析


扫描电子显微镜中进行原位AFM分析


AFSEM技术实现了AFM和SEM的功能性互补,让SEM可以同时实现样品的高分辨率成像,真实的三维形貌,精确的高度,距离测量,甚至是材料的导电性能。做到这一点只需要将AFSEM悬臂探针的位置移动到SEM下需要观察的样品位置进行探测。优化的AFSEM工作流程(几乎没有减少SEM的扫描时间)确保了高效率。提供的强大控制软件则允许进行优化和直观的测量、系统处理和数据分析。

将AFSEM集成到一个Zeiss Leo 982扫描电子显微镜中(左),对样品表面进行扫描成像(右),对样品表面进行扫描。当在AFM和SEM成像之间交替时,不需要转移样品或打破真空。使用AFSEM,一切都可以进行内联!


SEM-AFM 协同分析


对于产品或材料分析,通常需要用多种技术分析一个样品或者同一个器件,并寻找参数之间的相关性。如果样品需要使用SEMAFM这两种的成像技术,就意味着我们需要找到感兴趣的区域并定位它,再拿到另一个设备中寻找这个感兴趣的区域,才能实现对同样的区域进行分析。有什么能比直接把AFM放在SEM里面来的简单呢?


对无支撑石墨烯和石墨烯相关材料进行扫描电镜和AFM原位分析。在低电压扫描电子显微镜下,我们可以对一个悬空的石墨烯薄片的样品进行成像,以确定层数和厚度(a)。然后,利用AFM(b+c)实现更高的分辨率和更好的对比度。


扫描电镜图像(A)、放大的图像(B)和相关的AFM成像(C),测量结果来自FEI Quanta 600 FEG ESEM。


AFSEM可与大多数SEM兼容


AFSEM适用于大多数SEM或双光束(SEM/FIB)系统。可以直接安装在系统腔室的仓门上,同时样品台保持不变。此外,AFSEM采用一种自感应悬臂探针,无需激光与传感器。 AFSEM在电镜中,夹持探针的悬臂梁只需要极靴与样品之间4.5毫米的空间。因此,AFSEM可以与各种标准的SEM兼容,GETec公司能够处理任何兼容SEM系统真空腔内的安装。也正是这种优雅小巧的设计使得扫描电子显微镜能够配合AFM技术实现的亚纳米级的形貌探测。  

成功的AFSEM集成的例子(可参见集成SEM列表)。


AFSEM与SEM分析技术紧密配合


由于AFSEM小巧的设计维护了SEM功能的完整性,可以实现与其他标准的扫描电镜分析技术相结合同时使用,如常规FIB、FEBID和EDX,以及SEM中可搭配的拉伸机,应力测试,机械手等等


AFSEM应用案例举例


AFSEM与Deben 200N 拉伸试验台可以同时集成在Philips XL40 SEM实现试样拉伸形变过程的原位观察和形貌探测。这是一个创新的实验解决方案,用来研究拉力作用下金属试样的拉伸形变和颈缩过程中,样品表面形貌和粗糙度的变化。


此外AFSEM™和Hysitron PI85 硬度测试台结合,一同安装在蔡司Leo 982 SEM中,电镜下我们可以实时观察金属表面在硬度计压头尖端的压力下,表面形变,滑移过程。其形变,滑移的形貌变化可以由AFM完成。 


从AFM的角度来看,自感应悬臂探针可以实现多种探测模式,包括 静态成像、动态成像、相对比、力谱、力调制和导电模式AFM。例如,在飞利浦XL40仪器中,利用扫描电镜成像、EDX的化学分析、AFM的3D形貌和电导分析。 


技术视频介绍



AFSEM产品功能介绍


AFSEM采用的自感应探针(self-sensing cantilevers):


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奥地利SCL-Sensor.Tech公司主要生产硅基压阻式自感应探针,避免了常规AFM需要光路进行探测的模式,拓宽AFM在纳米探测、力测量和其他场合的应用。

自检测悬臂配备全压阻电桥直接测量悬臂信号电,从而消除常规原子力显微镜光学信号探测对仪器空间的要求。两个可变电阻分别位于微悬臂和芯片上。整个结构连接到一个小的PCB板上,可实现快速和高重复性的探针交换。感应到的信号通过一个前置放大电路读出和放大。这使得与各种仪器,如SEM,TEM和许多其他测量系统,可以轻松无缝地集成。自感应探针具有各种谐振频率和弹簧常数。


我们可为您提供PRS(压阻传感)悬臂探针和PRSA(压阻传感与主动)悬臂探针。 

Self-Sensing   Cantilevers with Silicon Tip

Self-Sensing Cantilever without Tip  (Tipless)

Self-Sensing   Cantilevers with SCD Tip

Silicon tip   radius: <15nm 
Cantilever length: 70-300 µm 
Frequencies: 30-1300 kHz 
Stiffness: 1-400 N/m 
Applications: AFM,nanoprobing,force measurement, ...

Tip: tipless 
Cantilever length : 100-450 µm 
Frequency: 14-550 kHz 

Stiffness: 0.5-170 N/m 
Applications: torque magnetometry (e.g. in a PPMS), gas/media properties,   force measurement, experimental tip mounting,...

SCD-tip radius:   <10 nm 
Cantilever length: 100-450 µm 
Frequency: 14-550 kHz 
Stiffness: 0.5-170 N/m 
Applications: AFM, nanoindentation, ...

 

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注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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