利用原子层沉积系统ALD沉积不同薄膜材料获得周期有序微格结构

发布时间： 2018-08-03 10:47 来源： QUANTUM量子科学仪器贸易（北京）有限公司

领域：	涂料,纳米材料,高分子材料
样品：	Au, Cu等薄膜材料	项目：	周期有序微格结构
参考：	Citation: APL Mater. 1, 022106 (2013); doi: 10.1063/1.4818168

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通过高分子网状模板沉积不同薄膜材料（Au, Cu, Ni, SiO2, poly(C8H4F4)）获得周期有序微格结构，其密度在0.5 mg/cm3 to 500 mg/cm3之间。以压力法测得杨氏模量和强度，并且进行了密度定标。在低相对密度的情况下，观察到与微格材料无关的５０％或更高的压力应变恢复。一个分析模型预测了在可恢复性“伪超弹性”与不可恢复塑性形变之间的转换关系，并适合所有研究材料。此次研究的材料在储能应用，可展开结构，声，冲击，振动阻尼研究方面有着很高的关注度。