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上海尔迪仪器科技有限公司
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| 参考报价： | ￥150000 RMB（人民币） | 型号： | ATTO |
| 品牌： | Diener Electronic | 产地： | 德国 |
| 关注度： | 20 | 信息完整度： |  |
| 样本： | 典型用户： | 暂无 | |
| 仪器种类 | 等离子体表面处理仪 | 价格范围 | ￥10万-20万 |
| 设备尺寸 | Dia.211 mm*L 300 mm | 控制方式 | 自动 |
| 功率 | 50W和200W | 工作气体 | 双路 |
| 样品腔材质 | 高硼硅玻璃 | 样品腔容积 | 10.5L |
| 射频频率 | 13.56MHz与40kHz |
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10.5 升的LOW-COST-PLASMA-LABORANLAGE ATTO 为手动型，配有 PC 和 PCCE 控制系统，主要用于以下领域：
小批量生产
分析 (REM, TEM)
医疗技术
灭菌
研究和开发部门
考古
纺织技术
塑料技术
| 等离子设备 Atto，配有手动控制系统、等离子清洗器、等离子灰化器、等离子蚀刻机、等离子活化系统，用于小批量工艺研发、清洗、活化、蚀刻 | 等离子设备 Atto，配有外部 PC 控制系统、等离子清洗器、等离子灰化器、等离子蚀刻机、等离子活化系统，用于小批量工艺研发、清洗、活化、蚀刻 - 等离子系统 | 等离子设备 Atto，配有内置式 PC 控制系统、等离子清洗器、等离子灰化器、等离子蚀刻机、等离子活化系统，用于小批量工艺研发、清洗、活化、蚀刻 - 等离子系统 |
系列 | Atto 手动控制 | Atto 外部PC控制 | Atto 集成PC控制 |
控制系统 | 手动型、通过模拟计时器测定工艺时间 | PC-控制系统(Microsoft Windows XP) | PC-控制系统 (Microsoft Windows CE) |
体积 | 10.5L | ||
真空腔室 | 玻璃材质、Dia.211 mm、长 300 mm | ||
样品支架 | 1个样品支架 | ||
气源 | 2 个由针型阀控制的气体通道 | 2 个由 MFCs 控制的气体通道 | 2 个由 MFCs 控制的气体通道 |
高频电流发生器 | 40 kHz/200 W 或者 13.56 MHz/300 W 反射波自动匹配 | ||
真空泵 | 5 m3/h | ||
外尺寸 | 宽 525 mm、高 275 mm、深 450 mm | ||
电源电压 | AC220V |
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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
