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上海尔迪仪器科技有限公司
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| 参考报价： | 600000 RMB（人民币） | 型号： | PDC200/PDC210/PDC510 |
| 品牌： | 雅马拓 | 产地： | 日本 |
| 关注度： | 48 | 信息完整度： |  |
| 样本： | 典型用户： | 暂无 | |
| 供应商性质 | 区域代理 | 产地类别 | 进口 |
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仪器简介：
研究开发用最适合等离子清洗机
用途：
CSB/BGA/COB基板的等离子处理
有机膜和金属氧化膜的除去
印刷电路基板的干洗
界面活性处理
主要特点：
RIE模式标配（DP切换为选购）
等离子的均应性高操作简单的液晶触摸屏控制面
技术参数：
| 型号 | PDC200 | PDC210 | PDC510 |
| 模式 | RIE模式（DP选配） | DP模式 | DP/RIE切换方式 |
| 电极构造 | 平行平板电极（固定） | ||
| 高频输出功率 | MAX300W | Max 500W | |
| 频率 | 13.56MHz | ||
| 控制方式 | 自动联动，液晶触摸屏控制 | ||
| 反应室尺寸 | 400×250×150mm | 500×300×200 | |
| 电极尺寸 | 250×170mm | 400×200mm | |
| 反应室材质 | 一次性一体成型铝腔（防腐蚀，可对应CF4） | ||
| 反应气体 | 2系统（Ar/O2） | ||
| 填充气体 | N2/洁净干燥空气 | ||
| 反应气体流量控制 | 流量计 | 聚合控制器 | |
| 真空泵 | 另行选配 | KASHIYAMA Neodry30E（排气量500L/min） | KASHIYAMA Neodry30E（排气量500L/min） |
| 气体导入口 | 反应气体2套，填充气体1套 | ||
| 外型尺寸 | 540×600×600mm | 540×600×600mm | 700×700×700mm |
| 电源 | 单相AC100V 15A 50/60Hz | 三相AC100V 15A 50/60Hz |
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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
