亚微米精度超紧凑电控平移台

高精度电动平移台

电控位移台也称为电控平移台是一种依靠步进电机驱动的执行装置，通过丝杠将步进电机的角位移转换为平台位移。通常情况下该系统由三部分组成：位移台、电机和控制器。驱动电机及控制器主要决定驱动扭矩、分辨率、加减速度、信号处理等性能参数。位移台则是系统的心脏，主要指标参数有位移精度、行程、负载、稳定性、适用环境等。

昊量光电推出的超紧凑电动平移台装配交叉滚子导轨，使其在紧凑的体积下拥有较高的刚度和精度。该系列电动位移台可提供6-32mm不同的行程范围。传动装置采用拥有间隙补偿不可逆的滚珠丝杠装置。驱动采用步进电机可以提供大的扭矩和速度。采用光栅尺闭环控制，在提供大行程的同时拥有较高的精度。

压电平移台"  width="400" height="233" border="0" vspace="0" style="width: 400px; height: 233px;"/>

该系类平移台提供6mm、16mm和32mm三种不同行程的位移平台，并可根据不同的要求提供真空下工作的平移台，最高真空度可达10^-8mbar.

• 主要特点

l   高分辨率

l   高重复定位精度

l   采用滚珠丝杠，实现高精度定位

l   采用高等级交叉滚珠导轨，具有超高运动性能

u  主要应用

超精密激光加工、超精密三维扫描测量、全自动计量仪器检测设备、工业自动化等领域。

主要参数：

亚微米精度超紧凑电控平移台信息由上海昊量光电设备有限公司为您提供，如您想了解更多关于亚微米精度超紧凑电控平移台报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。

注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途