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参考报价: | 面议 | 型号: | Two_Axis_MEMS_Mirrors |
品牌: | 昊量光电 | 产地: | 德国 |
关注度: | 486 | 信息完整度: | |
样本: | 典型用户: | 暂无 | |
价格范围 | 1万-5万 | 组件类别 | 光学元件 |
诚信认证:
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产品简介
二维MEMS扫描镜
无转向节二维MEMS扫描镜 超低功耗 大角度超快二维扫描
微机电扫描镜, 又称MEMS扫描镜,是通过电机驱动镜面倾斜,从而对光束实现偏转控制的器件。相比扫描振镜等常见的光束扫描器件,MEMS扫描镜具有体积小、重量轻、功耗低、对环境影响不敏感等特点,而且MEMS扫描镜可与位置传感器集成使用,实现更高的定位精度。
微机电扫描镜, MEMS扫描镜,MEMS Mirror, MicroMirror, Microscanner, Micro-scanning Mirror
这款无转向节二维MEMS扫描镜完全采用单晶硅材料制成。该二维MEMS扫描镜中不含有任何移动的金属、塑料和线圈等部件,也没有易于发生故障的压电或电磁促动器,所以该二维MEMS扫描镜具有很高的位置重复精度与可靠性。同时,这款二维MEMS扫描镜完全由免维护的纯弹性材料(单晶硅)构成,并完全采用静电驱动方式,因此工作过程中没有电流。这款无转向节二维MEMS扫描镜可实现大角度、超快二维光束扫描。二维扫描角度可达32度,并且功耗极低,仅1mW。该二维MEMS扫描镜采用线性驱动方式和四象限可寻址静电梳驱动设计,保证了很好的电压与角度的线性度。
主要特点:
l 模拟电压控制可实现任意角度偏转;
l 点到点光束扫描,驱动电压与扫描角度一一对应;
l 模块设计方便选择各种不同尺寸的镜面,以根据不同应用实现优化;
l 同时在XY两个方向实现高速扫描
l 动态模式扫描,XY两个方向大角度扫描(e.g. -160 to 160)
主要参数:
Integrated Mirror Devices | Bonded Mirror Devices |
镜面大小: 0.8mm, 1.2mm, 1.6mm, 20.mm and 2.4mm diameter always in stock | 镜面大小: 2.0, 2.4, 3.0, 3.6, 4.2, and 5.0mm diameter in stock, larger possible in special orders. |
点到点驱动模式最大倾斜角度: -6° to +6° mechanical each axis, varies with design type. | 点到点驱动模式最大倾斜角度: -6° to +6° mechanical on each axis, varies with design type. |
共振驱动模式最大倾斜角度: -7° to +7° mechanical | 共振驱动模式最大倾斜角度: -7° to +7° mechanical, varies with design type. |
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MEMS扫描镜驱动控制器:
MEMS扫描镜整套系统开发包:
开发包标准配置:
u 3个二维MEMS扫描镜
u 配套软件
u USB MEMS控制器
u 安装支架
u 光学面包板
u 5mW 635nm 红光激光器
可根据客户要求,定制配置方案
二维MEMS扫描镜信息由上海昊量光电设备有限公司为您提供,如您想了解更多关于二维MEMS扫描镜报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途