亚纳米级二维微动台

亚纳米级二维微动台

亚纳米级二维定位工作台！

AU-NPS-XY系列纳米定位工作台采用压电陶瓷直推驱动，以柔性铰链为运动副，使其具有结构紧凑、体积小、无机械摩擦、定位分辨率高等优点。全行程采用电容位移传感器闭环反馈设计，使其达到纳米级的分辨率和重复性。结合数字闭环控制器，纳米定位工作台的响应时间和稳定时间可达到毫秒量级。

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AU-NPS-XY-100系列纳米二维定位工作台采用压电陶瓷直推驱动，以柔性铰链为运动副，使其结构紧凑、拥有小的体积、无摩擦、无间隙、定位分辨率高等优点。

全行程采用电容位移传感器闭环反馈控制系统设计，电容位移传感器是将位移变化转换为电容电量信号的变化。电容位移传感器简单易用，而且拥有极高的精度，可达到亚纳米量级。结合数字闭环控制器，纳米定位工作台的响应时间和稳定时间可达到毫秒量级。低的移动质量和高的刚度结合可以提供非常高的带宽。

利用有限元分析对柔性铰链结构进行分析，使其在整个行程中产生的角位移低于25微弧度。在整个行程中可以保持更好的直线性。线性误差小于0.01%，滞后小于0.005%。

上海昊量光电设备公司推出的亚纳米二维微动台主要包括NPS-XY-100A和NPS-XY-100B两款产品。产品性能大体相似。材质有所差异。

其中AU-NPS-XY-100A采用超级不胀钢（因瓦合金）材质，其热膨胀系数极小达到0.3ppm K^-1，使热漂移达到最小，这对于纳米级的工作台来说是极其重要的。

AU-NPS-XY-100B采用铝合金结构，虽然相对于因瓦合金来说有较高的热膨胀系数（23ppm K^-1），但是由于其拥有较轻的移动质量，因此具有更高的速度。

u  主要特点 

l  亚纳米级的分辨率

l  高的带宽

l  高速响应

l  高的可靠性

l  结构紧凑

l  压电陶瓷驱动

l  柔性铰链设计

l  电容位移传感器闭环反馈

u  主要应用 

 高精度显微镜、原子力显微镜、扫描探针纤维镜、近场扫描光学显微镜等。

u  产品主要参数

亚纳米级二维微动台信息由上海昊量光电设备有限公司为您提供，如您想了解更多关于亚纳米级二维微动台报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。

注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途