高分辨率激光干涉仪

高分辨率激光干涉仪

便携式、高分辨率、高动态范围激光干涉仪！

超分辨剪切干涉仪(High-resolution Interferometer)是一款便携式、高灵敏度、高精度的波前分析仪。超分辨剪切干涉仪基于波前分析的四波剪切干涉技术，与传统干涉仪相比较具有结构紧凑，使用方便，无需标准件，检测稳定性，直接测量任意的波前、高分辨率（300x400采样点），3D显示等优点。

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超分辨激光干涉仪基于便携式、高灵敏度、高精度波前分析仪。该激光干涉仪采用四波剪切干涉技术，与传统干涉仪相比较具有结构紧凑，使用方便，无需标准件，检测稳定性，直接测量任意的波前、高分辨率（300x400采样点）、激光波长覆盖400-1100nm、消色差、高动态范围（500um）等优点。

超分辨剪切干涉仪可用于激光波前检测、激光强度检测、等离子体密度检测、透镜检测、高功率激光自适应、光刻机检测、精密光学元器件检测、光学系统装调、镜头模组检测、传递函数（MTF）检测等。法国Phasics公司超分辨剪切干涉仪并可实时检测为客户提供优化的数据支持。

产品特点：

1、直接测量、无需标准件

图一、检测光路

2、高灵敏度（是普通白光干涉仪的8.4倍）、对振动不敏感

图二 与传统的干涉仪检测结果对比

3、三维立体显示

图三、波前三维检测视图

4、实时显示泽尼克系数

图四、多阶泽尼克显示界面

5、传递函数（MTF）检测

图五、传递函数检测界面

干涉仪应用领域：

Ø 激光光束性能、波前畸变、M^2、强度等的检测

Ø 红外透镜检测

Ø 激光、天文、显微、眼科等复杂自适应光学系统波前像差检测

Ø 光刻机物镜检测

Ø 大口径高精度光学元器件检测

Ø 透镜、镜头模组检测

Ø 传递函数测量

Ø 等离子体密度检测

Ø 高功率激光自适应

产品系列：