非球面镜|低数值孔径（N-BK7）

ALIO六轴位移台/六足位移台Hybrid Hexapod-高精度

昊量光电推出全新一代高精度六轴位移台Hybrid Hexapod采用了与传统6自由度(6-D)定位设备不同的方法，并以极具竞争力的价格展示了更高的性能。六轴位移台Hybrid Hexapod结合了精密XY单片工作台、三脚架和连续旋转的Theta- Z轴，而不是6个独立的腿(和12个连接接头)，提供卓越的整体性能。这使得传统的六足位移台运动学过时了，在精度、路径性能、速度、刚度和更大的工作范围上都有了数量级的改进，几乎可以无限的XY行程，完全可编程的工具中心点位置。

六轴位移台Hybrid Hexapod具有小于100nm的三维6轴点精度重复性，使其成为激光加工、光学检测、光子学、半导体、计量和医疗设备领域以及所有微加工项目的关键任务应用的关键技术。

传统的六足位移台无法达到亚微米的精度，因为它们需要精确协调所有六个轴的运动来完成一个运动轮廓，即使这个要求只是一个简单的单轴运动。此外，尽管人们普遍认为六足位移台比串行堆叠的多轴系统表现出良好的刚度，但这实际上只是在垂直的“Z”轴上，在“XY”平面上存在弱点。

特点

• 高精度交叉滚柱导轨

• 直接读取增量或使用绝对编码器控制所有承轴

• 线性压电电机和/或滚珠丝杆驱动器

• 无限制编辑工具中心点位置和坐标位移

• 所有承轴零间隙

主要参数

• XY轴行程60mm和100mm，蕞大450mm（无限制XY行程）

• Z轴行程62mm（其他同类产品蕞大208mm）

• Tip/Tilt 行程 ±30 Deg, 连续可调 360 Deg Theta-Z

• XYZ 双向重复性小于 ±100nm

• 角度双向重复性小于 ±0.6 arc-sec

• XY轴位移速度可达100mm/s，Z轴位移速度可达20mm/s Z (大于线性电机版)

• 线性不稳定性小于20nm，角不稳定性小于0.1 arc-sec

  
  

应用

• 非球面和自由光光学检测

• 封装与探测硅光子

• 激光微加工（非平面基板和锥度控制）

• 晶圆测量

• 相机模块的对准与装配

• 传感器/图像稳定性测试

• 光学元件的光纤耦合

迷你六轴位移台MINI Hybrid Hexapod

    ● 行程 XY/Z/AB/G :   60/15/10/360

    ● 蕞大线性速度和角速度 :   25 mm/s and 30 deg/sec

    ● 线性分辨率 : < 5nm

    ●双向重复定位精度 :  <± 80nm

    ●位移精度 :< 1 µm

迷你六轴位移MINI Hybrid Hexapod是自动镜头对准/粘接到ccd阵列的理想选择。它在构建相机阵列模块、平移式OIS、用于手机相机和无人机等日常产品中的微型相机

的望远镜集成镜头方面都很有帮助。任何需要6度自由定位的纳米/弧秒级增量运动和重复性的应用都非常适合该产品，因为产品传感器分辨率的提高推动了对更高精度的需求。

无限XY行程大角度六轴位移台Angulares Hybrid Hexapod

HYBRID HEXAPOD®采用直线电机驱动

    ● Max.行程 XY/Z/AB/G :  无限/206/40/360

     ●  Min.行程XY/Z/AB/G  :  60/6/5/360

    ● 蕞大线性速度和角速度 :   500 mm/s and 180 deg/sec

    ● 线性分辨率 : < 5nm

    ●双向重复定位精度 :  <± 80nm

    ●位移精度 :< 1 µm

到目前为止，大角度六轴位移台Angularstm Hybrid Hexapod的60度tip/tilt行程是市面上任何六自由度(6-DOF)定位器所能提供的zui大角度行程范围。它非常适合应用于非球面和自由曲面光学计量，硅光子学封装和探测，激光微加工(非平面基片和锥度控制)，晶圆计量，相机模块对准和装配，传感器/图像稳定测试，以及光学元件和光纤对准。

大角度六轴位移台具有精密交叉滚子轴承导轨，光学增量或绝对编码器反馈在所有轴，直线电机和/或伺服滚珠丝杠驱动器，无限可编程的工具中心点位置和坐标偏移，和零后座力。它能够无限XY位移,Z轴位移在使用其它三脚架模式下62mm增加到208mm，连续360度Theta-Z下的60度tip/tilt行程(+/- 30度)， XYZ双向重复性小于+/- 0.6角秒，速度高达100mm/s  XY和Z，小于10nm的线性和0.1弧秒的小增量角运动。

真空六轴位移台MINI Hybrid Hexapod

    ● 行程 XY/Z/AB/G :   100/24/12/360

    ● 蕞大线性速度和角速度 :    500 mm/s and 180 deg/sec

    ● 线性分辨率 : < 5nm

    ●双向重复定位精度 :  <± 80nm

    ●位移精度 :< 1 µm

三脚架（三自由度）采用直线电机驱动

   ● Min.行程 XY/AB :  6mm / ±2 degrees

    ● Max.行程 XY/AB : 206mm / ±22 degrees

    ● 蕞大线性速度和角速度 :   500 mm/s and 180 deg/sec

    ● 线性分辨率 : < 5nm

    ●双向重复定位精度 :  <± 80nm

    ●位移精度 :< 1 µm

三脚架+旋转（四自由度）

采用直线电机驱动

    ● Min.行程 XY/AB/G :  6mm / ±2 degrees/无限

    ● Max.行程 XY/AB/G : 206mm / ±22 degrees/无限