韩国ISP iEDX-150μT镀层测厚仪

X射线管

X-ray generator

钼/铑/ 钨/ 银 （可选），50kV，1mA        Mo / Rh / W / Ag Target (Option), 50kV, 1mA

探测器

Detector

SDD（硅漂移探测器）                         SDD (Silicon Drift Detector)

分辨率

Resolution limit

125±5eV                                             125eV (Mn   Kα)

X射线焦斑

X-ray coverage

聚光纤(50～100μm)                      Poly capillary optics (50 ~ 100μm)

0.035mm（可调）                         0.035mm（adjustable）

测量范围

Measuring range

铝（13）～ 铀（92）                       Al (13) ~ U (92)

样本类型

Sample type

固体/液体/粉末，多层                      Solid / Liquid / Powder, Multi-Layer

样品室尺寸

Size of sample chamber

390×410×100mm（宽×深×高）      390 × 410 × 100 mm(W × D × H)

主要特征

Key features

- 自动/手动平台 - 常规镀层厚度检测，铑，钯，金，银，锡，镍- 可测多层薄膜的镀层厚度（多达5层）

- Auto / Manual Stage Mode - Plating thickness measurement general, Rh, Pd, Au, Ag, Sn, Ni

- Film thickness measurement of multilayer thin films (up to 5Layer).

摄像头

Camera properties

40～80倍                                 40 ~ 80x

安全性

safety

3点联锁                                  3point interlock

报告类型

Type of report

Excel，PDF/输出自定义表单             Excel, PDF / output Custom form